Title:
フイルムシート用チップ間隔拡大装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3168329
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】ダイシング後のウエハをフイルムシート上でチップ間隔を拡大するフイルムシート用チップ間隔拡大装置において、簡単な機構でフイルムシートをカットする自動カッター機構を備えるフィルムシート用チップ間隔拡大装置を提供する。【解決手段】拡張ステージ機構部であって、ウエハが貼付されたフイルムシートを裏面から押し上げる拡張ステージと、該拡張ステージの下側に設けられた昇降装置を含む拡張ステージ機構部と、フイルムシートの外周部を固定して維持するクランプ機構部と、拡張されたフイルムシートをグリップリングで固定するグリップ機構部と、昇降装置に取り付けられたカッター機構部で構成され、該カッター機構部のカッターユニットはフイルムシートをその裏面よりグリップリングに沿ってカットする。【選択図】図４
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Inventors:
Takahira
Application Number:
JP2011001657U
Publication Date:
June 09, 2011
Filing Date:
March 26, 2011
Export Citation:
Assignee:
Technovision Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/301; B26D3/10