Title:
シール構造及び処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3221102
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】真空容器を構成する部材同士の接合部の気密性を向上できるシール構造を提供する。【解決手段】真空容器を構成する部材同士の接合部Ｊを封止するシール構造１３であって、接合部Ｊに配置される内側シール部材１３ａと、接合部Ｊの内側シール部材１３ａよりも大気側に設けられ、内側シール部材１３ａよりもガス透過率が低い材料により形成された外側シール部材１３ｂと、を有し、真空容器内で処理が行われる際に、内側シール部材１３ａと外側シール部材１３ｂとの間に閉空間Ｓ１が形成される。【選択図】図６
Inventors:
Yukio Oizumi
Application Number:
JP2019000497U
Publication Date:
April 25, 2019
Filing Date:
February 14, 2019
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
C23C16/44
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Tadahiko Ito