クリーンルーム内で使用する基板処理装置 - 東京エレクトロン株式会社

Title:

クリーンルーム内で使用する基板処理装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4015639

Kind Code:

B2

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Inventors:

Tsuyoshi Matsuo
Go Wakabayashi
Misako Saito
Sadao Kobayashi
Megumi Wakayama
Masayuki Imafuku

Application Number:

JP2004146383A

Publication Date:

November 28, 2007

Filing Date:

May 17, 2004

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社
大成建設株式会社

International Classes:

H01L23/29; H05K1/03; H01L23/31; H05K3/28

Domestic Patent References:

Foreign References:

Attorney, Agent or Firm:

Takehiko Suzue
Sadao Muramatsu
Ryo Hashimoto

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