Title:
光学測定装置及び光学測定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6402273
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】試料における一方の表面に対して光を照射する光学測定装置において、プローブと試料との間の距離と、試料の膜厚と、を測定する。【解決手段】本開示の厚み測定装置は、参照面を有する透過光学部材を含み、前記参照面を介して試料に光を照射し、前記参照面からの第１の反射光、前記試料の表面からの第２の反射光、及び前記試料の裏面からの第３の反射光を受光するプローブと、前記第１の反射光と前記第２の反射光により生じる第１の反射干渉光を用いて、前記参照面から前記試料の表面までの第１の距離を算出し、前記第２の反射光と前記第３の反射光により生じる第２の反射干渉光を用いて、前記試料の厚みを算出する演算部と、を含む。【選択図】図１
Inventors:
Toshiki Shinka
Shiro Kawaguchi
Inoue Nobuyuki
Shiro Kawaguchi
Inoue Nobuyuki
Application Number:
JP2018096422A
Publication Date:
October 10, 2018
Filing Date:
May 18, 2018
Export Citation:
Assignee:
Otsuka Electronics Co., Ltd.
International Classes:
G01B11/06
Domestic Patent References:
| JP2018004442A | ||||
| JP2015075452A | ||||
| JP2016169959A | ||||
| JP2003065709A | ||||
| JP2013130417A |
Foreign References:
| US20120140239 |
Attorney, Agent or Firm:
Haruka International Patent Office