Title:
合成石英ガラス部材及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003080525
Kind Code:
A1
Abstract:
石英ガラス部材の製造方法は、所定条件下でＦ２レーザーを石英ガラス母材からのサンプルに照射して、Ｈ２ラマン散乱光のピーク強度が、Ｆ２レーザ照射していないサンプルのＨ２ラマン散乱光のピーク強度に比較して８０％以上減少するか否かを判断する。Ｈ２ラマン散乱光のピーク強度の減少が８０％未満である場合、石英ガラス母材のレーザー耐性が十分なものと判断して、母材から合成石英ガラス部材を加工する。サンプルのコンパクションもまた測定される。
Inventors:
水口 雅史
藤原 誠志
小峯 典男
藤原 誠志
小峯 典男
Application Number:
JP2003578290A
Publication Date:
July 21, 2005
Filing Date:
March 25, 2003
Export Citation:
Assignee:
株式会社ニコン
International Classes:
C03C3/06; C03B19/14; C03B20/00; C03C23/00; G03F7/20; H01L21/027
Previous Patent: MOLDING TOOL FOR PLASTIC PART FOR PHOTOGRAPHIC SENSITIZED MATERIAL
Next Patent: CONDUCTIVE BELT MANUFACTURING METHOD
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