Title:
精密基板収納容器
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2004079818
Kind Code:
A1
Abstract:
非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更可能として通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制防止し、異なる場所や装置等で使用されても情報の伝達性にバラツキを招かない精密基板収納容器を提供する。 複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体１の底部に着脱自在に装着されるボトムプレート２０と、ボトムプレート２０に着脱自在に支持されるホルダ５０と、ホルダ５０に収容されるＲＦＩＤシステムの応答器６０とを備え、ボトムプレート２０を、容器本体１の底面後方に対向するベース板２１と、ベース板２１に立設される壁板３０とから構成する。そして、ベース板２１に、水平方向を向くホルダ５０を支持する第一の保持機構４０を設けるとともに、壁板３０には、垂直方向を向くホルダ５０を支持する第二の保持機構４３を設け、ホルダ５０の向きを縦横二方向の間で選択的に変更可能とする。
Inventors:
Hiroshi Mimura
Wataru Shintani
Toshiyuki Kamada
Wataru Shintani
Toshiyuki Kamada
Application Number:
JP2005502994A
Publication Date:
June 08, 2006
Filing Date:
February 10, 2004
Export Citation:
Assignee:
Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/673; B65D25/20; B65D85/86
Domestic Patent References:
| JPH09328187A | 1997-12-22 | |||
| JP2000021966A | 2000-01-21 | |||
| JP2001068542A | 2001-03-16 | |||
| JP2002183695A | 2002-06-28 | |||
| JPH11317050A | 1999-11-16 | |||
| JP2005094474A | 2005-04-07 | |||
| JP2001209767A | 2001-08-03 | |||
| JP2001266100A | 2001-09-28 | |||
| JPH10293828A | 1998-11-04 | |||
| JPH07283299A | 1995-10-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Eisuke Fujimoto