４元組成比傾斜膜の作成方法及びこの方法を用いた２元組成比・膜厚傾斜膜の作成方法並びに多元組成物質の組成比のサンプリング方法

Title:

４元組成比傾斜膜の作成方法及びこの方法を用いた２元組成比・膜厚傾斜膜の作成方法並びに多元組成物質の組成比のサンプリング方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JPWO2004083481

Kind Code:

A1

Abstract:

矩形状の４元組成比傾斜膜を作成する方法において、この矩形の直交する二辺方向の座標をｘ、ｙとし、上記４元物質をそれぞれＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄとし、物質Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各々のモル数をｚとしたときに、物質Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各々のモル数ｚの分布が、ｚ＝ｘｙ、ｚ＝ｘ（１−ｙ）、ｚ＝（１−ｘ）（１−ｙ）、及びｚ＝ｙ（１−ｘ）、で表される各々の膜を積層すれば、４元物質全ての組成比が０から１００％まで変化した４元組成比傾斜膜が作成できる。

Inventors:

Hideomi Koinuma
Yukio Yamamoto
Yuji Matsumoto
Kenji Itaka

Application Number:

JP2005503668A

Publication Date:

June 22, 2006

Filing Date:

March 12, 2004

Export Citation:

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Assignee:

Japan Science and Technology Agency

International Classes:

C23C14/54; C23C14/08

Attorney, Agent or Firm:

Kazuyuki Hirayama

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