Title:
露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2007055199
Kind Code:
A1
Abstract:
露光装置（ＥＸ）は、それぞれ露光光（ＥＬ）が通りかつ基板（Ｐ）が対向して配置される複数の光学部材を有する光学システム（ＰＬ）と、複数の光学部材のそれぞれと基板（Ｐ）との間を液体（ＬＱ）で満たす液浸システム（１）とを備えており、複数の光学部材の少なくとも一部と液体（ＬＱ）とを介して基板（Ｐ）を露光する。
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Inventors:
Hiroyuki Nagasaka
Application Number:
JP2007544141A
Publication Date:
April 30, 2009
Filing Date:
November 07, 2006
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
H01L21/027; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Kazuya Nishi
Tadashi Takahashi
Kazuya Nishi
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