Title:
真空紫外発光デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011027881
Kind Code:
A1
Abstract:
現在使用されている紫外線発光装置の欠点、即ち、大型であり、消費電力が大きく、寿命が短く、強度が不安定であるという問題点を改善した新たな紫外光発光、特に真空紫外光の発光デバイスを提供することを目的とする。フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウムなどの透明基板と該透明基板上に形成された、ネオジム（Ｎｄ）、ツリウム（Ｔｍ）、エルビウム（Ｅｒ）などの原子をドープしたＬｕＬｉＦ４、ＬａＦ３、ＢａＦ２、ＣａＦ２などの金属フッ化物の薄膜層とからなる発光基板、熱電子銃や電界放出電子銃等の電子線源を備え、これらが真空雰囲気中に配置され、該電子線源から該金属フッ化物薄膜層への電子線の照射により真空紫外光の波長成分を含む光を発光させることを特徴とする真空紫外発光デバイス。
Inventors:
Shingo Ono
Toshihisa Suyama
Nobutaka Fukuda
Ishizu Sumito
Noriaki Kawaguchi
Tomomi Nagami
Akira Yoshikawa
Takeyuki Yanagita
Yokota
Toshihisa Suyama
Nobutaka Fukuda
Ishizu Sumito
Noriaki Kawaguchi
Tomomi Nagami
Akira Yoshikawa
Takeyuki Yanagita
Yokota
Application Number:
JP2011529965A
Publication Date:
February 04, 2013
Filing Date:
September 06, 2010
Export Citation:
Assignee:
National Institute of Technology Nagoya Institute of Technology
Tokuyama Corporation
Tohoku University
Tokuyama Corporation
Tohoku University
International Classes:
H01J63/06
Domestic Patent References:
| JP2006079873A | 2006-03-23 | |||
| JP2007294698A | 2007-11-08 | |||
| JPH0689075A | 1994-03-29 | |||
| JP2006190541A | 2006-07-20 |
Foreign References:
| WO2009031584A1 | 2009-03-12 |
Other References:
前尾修司、河口範明、柳田健之、横田有為、福田健太郎、吉川彰: "“ＫＭｇＦ3結晶の真空紫外線発光特性”", 光物性研究会論文集, vol. 20, JPN6010057784, 11 December 2009 (2009-12-11), JP, pages 445 - 448, ISSN: 0002713997
Attorney, Agent or Firm:
Naozumi Ono
Sachiko Okunuki
Sachiko Okunuki
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