Title:
未脱気液のろ過方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011108418
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、フィルターの長寿命化、および高いろ過効率を達成できるろ過方法、ならびにその方法によって製造された研磨用スラリーを提供するものである。本発明によるろ過方法では、未脱気液をフィルターによりろ過するのに先立って、脱気した溶媒をフィルターに通液させ、その後にろ過をする。
Inventors:
Mori Ei Hitoshi
Sugiyama Hiroyasu
Naoya Miwa
Sugiyama Hiroyasu
Naoya Miwa
Application Number:
JP2012503081A
Publication Date:
June 27, 2013
Filing Date:
February 23, 2011
Export Citation:
Assignee:
Fujimi Incorporated Co., Ltd.
International Classes:
B24B57/00; B01D37/04; B01D39/16; B01D61/14; B01D61/20; B03B5/00
Domestic Patent References:
| JPH05208121A | 1993-08-20 | |||
| JPH10166269A | 1998-06-23 | |||
| JPS6417729A | 1989-01-20 | |||
| JP2002346312A | 2002-12-03 | |||
| JP2009269161A | 2009-11-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Hirohito Katsunuma
Yukitaka Nakamura
Noritaka Yokota
Takeyasu Ito
Yukitaka Nakamura
Noritaka Yokota
Takeyasu Ito