Title:
炭化珪素単結晶基板への識別マークの形成方法、及び炭化珪素単結晶基板
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012093684
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明の炭化珪素単結晶基板への識別マーク形成方法は、炭化珪素単結晶基板の主面に溝が形成される第１のエネルギ密度で、前記炭化珪素単結晶基板の主面をレーザビームによって走査し、１つ以上の溝によって構成される識別マークを前記炭化珪素単結晶基板の主面に形成する工程（ａ）と、前記第１のエネルギ密度よりも低い第２のエネルギ密度で前記前記炭化珪素単結晶基板の主面に形成された溝内を前記レーザビームによって走査する工程（ｂ）とを包含する。
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Inventors:
Yoshihiko Kondo
Application Number:
JP2012551869A
Publication Date:
June 09, 2014
Filing Date:
January 05, 2012
Export Citation:
Assignee:
Hitachi Metals Co., Ltd.
International Classes:
B23K26/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Okuda
Osamu Kita
Osamu Kita