Title:
蒸着装置及び薄膜形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012121237
Kind Code:
A1
Abstract:
蒸着装置１０は、真空容器１の外部から内部に成膜材料を塗布したドナーベルトＳを供給するベルト材供給手段５を備え、ベルト材供給手段５は、ドナーベルトＳを所定の搬送経路で搬送する乾燥ローラー５２及び加熱ローラー５３と、真空容器１の外部に配されドナーベルトＳに成膜材料を塗布するコーター５１と、真空容器１の外部に配されコーター５１により塗布された成膜材料を乾燥させる乾燥ローラー５２と、真空容器１に形成され、成膜材料を有するドナーベルトＳを当該真空容器１の内部に挿通させる挿通部５４と、真空容器１の内部に挿通されたベルト材上の成膜材料を加熱して蒸発させる加熱ローラー５３と、が備えられる。これにより、成膜材料が劣化すること無く長時間安定して蒸着でき、蒸着時の欠陥も発生することが無く蒸着することができる。
Inventors:
Kazuhiro Fukuda
Yoshiyuki Inkstone
Nobuaki Takahashi
Yoshiyuki Inkstone
Nobuaki Takahashi
Application Number:
JP2013503551A
Publication Date:
July 17, 2014
Filing Date:
March 06, 2012
Export Citation:
Assignee:
Konica Minolta Co., Ltd.
International Classes:
C23C14/24; H01L51/50; H05B33/10
Attorney, Agent or Firm:
Gwangyang International Patent Office