Title:
ＭＥＭＳスイッチ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013051064
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】製造が容易で、スティッキングを有効に抑制できるＭＥＭＳスイッチを提供する。【解決手段】ＭＥＭＳスイッチは、固定支持部と、固定支持部に少なくとも１端が固定支持され、延在する可動表面を有する板状可撓梁と、可撓梁の可動表面に配置された可動電気接点と、固定支持部に対する位置が固定され、可動電気接点に対向する固定電気接点と、固定支持部から可動電気接点に向かって、可撓梁の可動表面上方に延在し、電圧駆動することにより可動電気接点を固定電気接点に向かって変位させることのできる第１圧電駆動素子と、少なくとも可撓梁の可動表面に配置され、電圧駆動することにより可動電気接点が固定電気接点から離れる向きに、可撓梁の可動部を駆動する第２圧電駆動素子と、を有する。
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Inventors:
豊田 治
島内 岳明
島内 岳明
Application Number:
JP2013537277A
Publication Date:
March 30, 2015
Filing Date:
October 06, 2011
Export Citation:
Assignee:
富士通株式会社
International Classes:
H01H57/00
Domestic Patent References:
| JP2008177074A | 2008-07-31 | |||
| JP2006346830A | 2006-12-28 |