Title:
蒸着材料供給方法、基板製造方法、制御装置および蒸着装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014061150
Kind Code:
A1
Abstract:
この蒸着材料供給方法は、蒸着材料を収容する材料収容部に収容された蒸着材料を加熱して蒸発させる加熱ステップと、材料収容部内で溶融した蒸着材料に向けて、固相の蒸着材料を送り込んで溶融させることにより、材料収容部内に蒸着材料を供給する供給ステップと、供給ステップで供給した後の固相の蒸着材料の溶融状態を検出する溶融状態検出ステップとを具備する。
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Inventors:
Ryuta Yamaguchi
Tetsuya Goto
Nobuyuki Shigeoka
Tetsuya Goto
Nobuyuki Shigeoka
Application Number:
JP2014541891A
Publication Date:
September 05, 2016
Filing Date:
October 19, 2012
Export Citation:
Assignee:
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES,LTD.
International Classes:
C23C14/24
Domestic Patent References:
| JP2010255025A | 2010-11-11 | |||
| JP2009149968A | 2009-07-09 | |||
| JP2008050630A | 2008-03-06 | |||
| JP2007023319A | 2007-02-01 | |||
| JPH10154329A | 1998-06-09 | |||
| JPH0368760A | 1991-03-25 | |||
| JPH02122068A | 1990-05-09 | |||
| JP2010255025A | 2010-11-11 | |||
| JP2009149968A | 2009-07-09 | |||
| JP2008050630A | 2008-03-06 | |||
| JP2007023319A | 2007-02-01 | |||
| JPH10154329A | 1998-06-09 | |||
| JPH0368760A | 1991-03-25 | |||
| JPH02122068A | 1990-05-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Ryuichiro Mori
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Tetsuo Yamazaki
Yasushi Matsunuma
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Tetsuo Yamazaki
Yasushi Matsunuma