Title:
真空ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014119191
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】真空ポンプ全体としての生成物の付着量を低減する、併せて、磁束漏れによる真空ポンプ電気系統のトラブルを効果的に防止する。【解決手段】真空ポンプＰ１は、ポンプケース１Ａに内包されたロータ６と、ロータに固定された回転軸５と、回転軸を回転可能に支持する支持手段と、回転軸を回転させる駆動手段と、ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路Ｒ１、Ｒ２を形成するネジ溝排気部ステータ１８Ａ、１８Ｂと、を備え、そのネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部２０を設け、加熱部２０は、ヨーク２５と、コイル２６と、加熱板２３と、を備え、当該コイル２６に交流電流を流すことによる電磁誘導加熱でヨーク２５及び加熱板２３を加熱するように構成した。【選択図】図２
Inventors:
Tokinaga Wei
Manabu Nonaka
Yoshinobu Otachi
Yasushi Maejima
Tsutomu Takaada
Manabu Nonaka
Yoshinobu Otachi
Yasushi Maejima
Tsutomu Takaada
Application Number:
JP2014559528A
Publication Date:
January 26, 2017
Filing Date:
December 25, 2013
Export Citation:
Assignee:
Edwards Co., Ltd.
International Classes:
F04D19/04
Domestic Patent References:
| JP2002021775A | 2002-01-23 | |||
| JPH0512691U | 1993-02-19 | |||
| JPH07145952A | 1995-06-06 | |||
| JP2002048088A | 2002-02-15 | |||
| JPS5129753A | 1976-03-13 | |||
| JP2002180988A | 2002-06-26 |
Foreign References:
| US20030180162A1 | 2003-09-25 |
Attorney, Agent or Firm:
Shigenori Wada
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