Title:
基板処理方法および基板処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015107955
Kind Code:
A1
Abstract:
異常発生時における基板処理装置のスループット低下を防止する技術を提供する。あるレシピが処理ユニットで実行できなくなる事象が発生した場合、発生した事象の種類によっては別のレシピならば当該処理ユニットで実行可能な場合が存在する。発生事象の種類と実行中のレシピを代替できる代替レシピとを予め対応付けておく。異常発生時には、実行レシピを別レシピで差し替え可能か、別レシピで代替できる場合にはそのレシピが未完了のジョブに含まれるかを検討する。これらの条件が満たされる場合には、以降は当該処理ユニットで代替レシピを実行するように基板処理スケジュールを変更する。条件が満たされない場合には当該処理ユニットでの基板処理を中止する。基板処理装置における基板処理の中断をできるだけ回避することができる。
Inventors:
Masahiro Yamamoto
Application Number:
JP2015557800A
Publication Date:
March 23, 2017
Filing Date:
January 07, 2015
Export Citation:
Assignee:
Screen Holdings Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; H01L21/02
Attorney, Agent or Firm:
Yoshitake Hidetoshi
Takahiro Arita
Takahiro Arita
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