Title:
研磨材
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017119342
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、研磨レートに優れると共に、比較的長期間に渡り研磨レートが低下し難い研磨材を提供することを目的とする。本発明は、基材シートと、この基材シートの表面側に積層され、砥粒及びそのバインダーを含む研磨層とを備える研磨材であって、上記バインダーの主成分が無機物であり、上記研磨層が、その表面に溝により区分された複数の凸状部を有し、上記凸状部の平均面積が１ｍｍ２以上３００ｍｍ２以下であり、上記複数の凸状部の上記研磨層全体に対する合計面積占有率が４％以上１５％以下であることを特徴とする。当該研磨材は、上記溝に充填され、樹脂又は無機物を主成分とし、かつ砥粒を実質的に含まない充填部をさらに備えるとよい。上記充填部の平均厚さの研磨層の平均厚さに対する比としては、０．１以上１以下が好ましい。上記砥粒がダイヤモンド砥粒であるとよい。上記無機物がケイ酸塩であるとよい。
Inventors:
Kenji Shimoyama
Kazuo Nishito
Keisuke Sasashima
Toshikazu Taura
Kazuo Nishito
Keisuke Sasashima
Toshikazu Taura
Application Number:
JP2016575709A
Publication Date:
January 11, 2018
Filing Date:
December 26, 2016
Export Citation:
Assignee:
Bando Chemical Industries, Ltd.
International Classes:
B24D11/00; B24D3/00; B24D3/04
Domestic Patent References:
| JPH03501371A | 1991-03-28 | |||
| JP2003527974A | 2003-09-24 | |||
| JPH0332575A | 1991-02-13 | |||
| JP2014221509A | 2014-11-27 | |||
| JPH11320417A | 1999-11-24 | |||
| JPH04322972A | 1992-11-12 | |||
| JPH0236074A | 1990-02-06 |
Foreign References:
| WO2015194278A1 | 2015-12-23 | |||
| WO2015046543A1 | 2015-04-02 | |||
| WO2014008049A2 | 2014-01-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano
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