軸受装置、および軸受装置を備えたレーザ装置

Japanese Patent JP2024017670

A

【課題】フッ素ガスに対する耐食性に優れ、また寸法精度や耐久性の点でも優れた軸受装置を提供する。【解決手段】フッ素ガス環境下で使用するための軸受装置が提供される。軸受装置は、磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される。【選択図】図１

JP2007291466	SURFACE-TREATING METHOD OF METAL, ROLLING-SLIDING MEMBER AND ROLLING DEVICE
JP2013216952	METHOD FOR CURING STEEL MEMBER OF ROLLING BEARING, AND STEEL MEMBER OF ROLLING BEARING OBTAINED BY THE METHOD
JP2008075141	COMPONENT OF THRUST BEARING

Kazuki Sato
Moto Niizuma
Kazuki Hirasawa
Takuya Ishii

JP2022120476A

February 08, 2024

July 28, 2022

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Ebara Corporation
Gigaphoton Inc.

F16C33/62; F16C19/06; F16C32/04; H01S3/036

Toru Miyamae
Yukio Kanegae
Makoto Watanabe
Naoki Ohfusa

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