Title:
バッファーチャンバ、基板処理装置及び基板処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024002883
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明は、基板を処理する装置を提供する。【解決手段】基板処理装置は、基板をバッチ式で処理するバッチ処理槽と、前記基板を枚葉式で処理する枚葉処理チャンバと、及び前記バッチ処理槽と前記枚葉処理チャンバの間で返送される前記基板の返送経路上に配置されるが、前記基板がウェッティング状態を維持するように液を供給するバッファーチャンバを含むことができる。【選択図】図１７
Inventors:
Lin, Jun Hyun
Choi, Jun Young
Jean, Young Jin
Park, Guisu
Lee, Yang Hoon
Choi, Jun Young
Jean, Young Jin
Park, Guisu
Lee, Yang Hoon
Application Number:
JP2023000357A
Publication Date:
January 11, 2024
Filing Date:
January 05, 2023
Export Citation:
Assignee:
Cemes Company, Limited
International Classes:
H01L21/677; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Ryoichi Takaoka
Nao Oda
Akiyo Iwahori
Rena Miyoshi
Kamoto Takahashi
Nao Oda
Akiyo Iwahori
Rena Miyoshi
Kamoto Takahashi