Title:
化学機械研磨パッドおよびそれを用いた化学機械研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5630609
Kind Code:
B2
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Inventors:
加茂 理
前川 亜耶子
仕田 裕貴
頓所 真司
佐藤 慶一
西口 直希
田野 裕之
前川 亜耶子
仕田 裕貴
頓所 真司
佐藤 慶一
西口 直希
田野 裕之
Application Number:
JP2010272451A
Publication Date:
November 26, 2014
Filing Date:
December 07, 2010
Export Citation:
Assignee:
ＪＳＲ株式会社
International Classes:
B24B37/24; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Obuchi Yoshikazu glory
Yukio Fuse
Yukio Fuse