Title:
コバルト、ニッケル、および、それらの合金の電気メッキ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023524809
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】部分的または完全に加工された電子デバイスの相互接続フィーチャ内にコバルト、ニッケル、および、それらの合金を電気メッキするための装置、システム、および、方法が開示されている。電気メッキ中、コバルト、ニッケル、または、それらの合金が、ボトムアップ電気メッキ充填メカニズムによって、フィーチャを充填する。コバルト、ニッケル、または、それらの合金で電気メッキ充填されうるフィーチャの例は、マイクロＴＳＶ、デバイスのためのコンタクト、および、トランジスタのための特定のゲートを含む。電気メッキ装置は、電気メッキ充填後モジュール、アニールチャンバ、プラズマ前処理モジュール、および、基板プリウェットモジュールの各々の１または複数と共に、電気メッキセルを備えてよい。【選択図】図４Ａ
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Inventors:
Doubina Natalia Vi.
Spurlin Thai A.
Oposensky Edward Sea.
Reid Jonathan David
Spurlin Thai A.
Oposensky Edward Sea.
Reid Jonathan David
Application Number:
JP2022567551A
Publication Date:
June 13, 2023
Filing Date:
April 27, 2021
Export Citation:
Assignee:
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
C25D7/12; C25D3/12; C25D3/56; C25D5/34; C25D5/50; C25D21/12
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Meisei International Patent Office