Title:
電気機械システムデバイスのカプセル化されたアレイ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015507215
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、電気機械システムデバイスをカプセル化するためのシステム、方法および装置を提供する。一態様では、電気機械システムデバイスの大きなアレイがカプセル化され得る。一態様では、カプセル化は、カプセル化層支持体によって電気機械システムデバイスの上に支持されたカプセル化層を含む。カプセル化層は複数のオリフィスを含むこともできる。オリフィスは、下の電気機械システムデバイスが損傷を受けないように封止され得る。
Inventors:
ミン−ホウ・タン
リフイ・ヒ
ジョン・ブラッドリー・ラシター
リフイ・ヒ
ジョン・ブラッドリー・ラシター
Application Number:
JP2014544764A
Publication Date:
March 05, 2015
Filing Date:
November 15, 2012
Export Citation:
Assignee:
クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド
International Classes:
G02B26/02; B81B3/00; B81C1/00
Domestic Patent References:
| JP2005262686A | 2005-09-29 |
Foreign References:
| US20080068697A1 | 2008-03-20 | |||
| US20100290102A1 | 2010-11-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Masatake Shiga
Takashi Watanabe
Shinya Jitsuhiro
Masatake Shiga
Takashi Watanabe
Shinya Jitsuhiro