Title:
加速度センサの周波数特性測定方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4304327
Kind Code:
B2
Abstract:
A metal rod guide ( 30 ) supports a metal rod ( 1 ) that can be inclined at an arbitrary angle, the support is instantaneously released to produce a free fall state, and during the release period, a first end surface ( 2 ) of the metal rod is impacted by a projectile ( 3 ) at the same angle as the metal rod, generating an elastic wave pulse in the metal rod. A direct current acceleration sensor ( 23 ) detects an acceleration arising when the elastic wave pulse reflects at the other end surface ( 22 ) of the metal rod. A strain gauge ( 25 ) provided on a side surface of the metal rod and/or a laser interferometer ( 24 ) measure strain and end surface motion and the measured values are processed to obtain a frequency response of the direct current acceleration sensor and measure frequency characteristics of the direct current acceleration sensor.
Inventors:
Akira Umeda
Application Number:
JP2002097191A
Publication Date:
July 29, 2009
Filing Date:
March 29, 2002
Export Citation:
Assignee:
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
International Classes:
G01P21/00; H05B33/10; G01N3/30; G01N3/62; G01P15/08; G01P15/097; G09F9/00; G09F9/30; H01L21/336; H01L23/12; H01L27/32; H01L29/786; H01L51/50; H05B33/14
Domestic Patent References:
| JP5273232A | ||||
| JP9222484A | ||||
| JP9251031A |
Foreign References:
| US5000030 |
Other References:
梅田章、上田和永,低加速度領域における加速度センサの衝撃による周波数特性評価法について,日本機械学会第4回設計工学・システム部門講演会講演論文集,447-482頁
今井秀孝、梅田章,高精度加速度計測システムに関する研究(平成6年度~平成8年度),通商産業省工業技術院特別研究報告集,1997,113-117頁
上田和永、梅田章,デービス棒による加速度計の特性評価方法に関する研究(第1報,ひずみゲージによる加速度計の周波数特性評価法),日本機械学会論文集C,57巻533号,143-147頁
今井秀孝、梅田章,高精度加速度計測システムに関する研究(平成6年度~平成8年度),通商産業省工業技術院特別研究報告集,1997,113-117頁
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