Title:
検査装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013099468
Kind Code:
A1
Abstract:
微細な欠陥を検出しようとした場合、前述した照明領域の短軸方向の幅は短い方が望ましい。従来技術では、光をなんらかの方法で集束することで照明領域を形成する訳であるが、より幅の狭い照明領域を形成するのは容易ではない。それは、集束を担う光学素子自体が有する種々の収差や、光路に存在するその他の光学素子の収差、組み付け誤差等が線状照明の形成に望ましくない影響を与えるからである。従来技術では、この点に関する配慮が十分ではなかった。本発明は、光の波面を変更するシステムを有することを特徴とする。
Inventors:
Koichi Taniguchi
Kei Shimura
Uto Yukio
Kei Shimura
Uto Yukio
Application Number:
JP2013551531A
Publication Date:
April 30, 2015
Filing Date:
November 19, 2012
Export Citation:
Assignee:
Hitachi High-Technologies Corporation
International Classes:
G01N21/956; G01J9/00; G01N21/84
Domestic Patent References:
| JP2011154039A | 2011-08-11 | |||
| JP2006250739A | 2006-09-21 | |||
| JP2011053186A | 2011-03-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Manabu Inoue
Yuji Toda
Shigemi Iwasaki
Yuji Toda
Shigemi Iwasaki