Title:
リニア駆動機構及び形状測定機
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6458334
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】検出器の測定精度の低下を防止可能なリニア駆動機構、及びこのリニア駆動機構を備える形状測定機を提供する。【解決手段】第１軸方向に感度を有する接触式又は非接触式の検出器を、ワークに対して第１軸方向に直交する第２軸方向に相対移動をさせるリニア駆動機構において、第２軸方向に延びた駆動軸と、駆動軸により非接触に支持された可動子であって、且つ検出器又はワークと一体に駆動軸に沿って移動する可動子と、駆動軸に対して第１軸方向及び第２軸方向の双方に直交する第３軸方向にずれた位置に設けられ、且つ駆動軸に平行なガイドと、可動子及びガイドの一方に設けられ、且つ可動子及びガイドの他方と接触しており、可動子の移動に対する抵抗力を発生する抵抗力発生部と、を備える。【選択図】図３
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Inventors:
Takao Okano
Application Number:
JP2018017273A
Publication Date:
January 30, 2019
Filing Date:
February 02, 2018
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
International Classes:
G01B21/00; B23Q5/28; G01B5/00; H02K41/02; H02P7/02
Domestic Patent References:
| JP2012078344A | 2012-04-19 | |||
| JPH09163715A | 1997-06-20 | |||
| JP2000092813A | 2000-03-31 | |||
| JP2015225011A | 2015-12-14 |
Foreign References:
| WO2013065180A1 | 2013-05-10 | |||
| US6469409 | 2002-10-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenzo Matsuura