リチウム含有層、アイレット、又はクラスターの堆積のためのリチウム前駆体 - Rail Liquide-Societe Anonym Pools Retude e Rex Prosatation de Procede Georges Claude

Title:

リチウム含有層、アイレット、又はクラスターの堆積のためのリチウム前駆体

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2022551609

Kind Code:

A

Abstract:

基板上にＬｉ含有膜、アイレット、又はクラスターを形成するための方法は、ケイ素フリーのリチウム前駆体の蒸気を反応器に導入する工程、及び蒸着法を使用してケイ素フリーのリチウム前駆体の少なくとも一部を基板上に堆積させて、Ｌｉ含有膜、アイレット、又はクラスターを形成する工程、を含む。【選択図】図１

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Inventors:

Dusara, Christian
Keiji Yamamoto
Brasco, Nicholas
Sunao Uemura

Application Number:

JP2022520585A

Publication Date:

December 12, 2022

Filing Date:

October 08, 2020

Export Citation:

Assignee:

Rail Liquide-Societe Anonym Pools Retude e Rex Prosatation de Procede Georges Claude

International Classes:

C23C16/455; C07F1/02; C23C16/18

Attorney, Agent or Firm:

Michie Obuchi
Fuse Yukio

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