Title:
ガス含有間隙を含むＭＥＭＳ固定コンデンサー及び前記コンデンサーを製造するための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015535393
Kind Code:
A
Abstract:
ＭＥＭＳ固定コンデンサー（１）は、基板（Ｓ）の上に形成された下部金属電極（３）、下部金属電極の上に金属支柱（５）によって支持された上部金属電極（２）、及び前記上部金属電極（２）と前記下部金属電極（３）の間に非固体誘電体層を形成するガス含有間隙（４）を含み、前記上部金属電極（２）と前記下部金属電極（３）の間の距離（Ｄ）が１μｍ以下であり、前記上部金属電極（２）の厚さ（Ｅ）が１μｍ以上である。【選択図】図２
Inventors:
Pavajo, Christoph
Application Number:
JP2015538439A
Publication Date:
December 10, 2015
Filing Date:
October 24, 2013
Export Citation:
Assignee:
Delf Memmes
International Classes:
H01G5/16; B81B1/00; B81C1/00
Attorney, Agent or Firm:
Nobuaki Kazehaya
Noriko Asano
Noriko Asano