酸感受性溶媒のための膜

Japanese Patent JP2023554310

A

本開示は、流体組成物中の金属及び金属イオン夾雑物の除去を実施するのに有用な特定の強カチオン改質イオン交換樹脂及び膜を提供する。フォトレジストを除去するための液体等のマイクロ電子製造プロセスでは、金属の量が著しく減少した濾過された液体組成物が使用され得る。本開示のカチオン改質イオン交換樹脂及び膜は、マイクロ電子製造システムで使用するように構成することができ、これはシステムに入る液体のための使用点金属除去機構としてシステムで利用することができる。有利には、本開示のフィルタ材料及び方法は、望ましくない金属イオンを除去するフィルタ材料の能力を損なうことなく、液体組成物中のケトン（例えば、シクロヘキサノン）からの劣化及び着色体並びにダイマー及びオリゴマー材料の形成の防止においてかなりの改善を示した。【選択図】図１

JPS5278992	PROCESSING METHOD OF INSOLUBLE ORGANIC POLYMER IN POLAR SOLVENT
JP2021090953	COMPOSITE SEMIPERMEABLE MEMBRANE
WO/2002/022245	MEMBRANES FOR SELECTIVE GAS SEPARATION

Hamzik, James
Javer, Jud Ali

JP2023535348A

December 27, 2023

December 06, 2021

Click for automatic bibliography generation  

Entegris Incorporated

B01D71/82; B01D39/04; B01D39/16; B01D61/14; B01D69/02; B01D71/26; B01D71/30; B01J39/05; B01J39/20; B01J39/22; B01J45/00; B01J47/12

Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation

Previous Patent: System and method for processing backhulls of slaughtered poultry carcasses

Next Patent: Register near memory determination