イオン注入プロセスからの自然発火性副生成物を軽減する方法および装置

Japanese Patent JP2018532569

A

本明細書に開示された実施形態は、一般に、プラズマ軽減プロセスおよび装置に関する。プラズマ軽減プロセスは、注入チャンバなどの処理チャンバからフォアライン廃水を取り込み、廃水を試薬と反応させる。廃水は、自然発火性副生成物を含む。フォアライン経路内に配置されたプラズマ発生装置は、廃水および試薬をイオン化して、廃水と試薬との間の反応を促進することができる。イオン化された核種は、反応して、排気流経路内部の条件で気相に留まる化合物を形成する。別の実施形態では、イオン化された核種は、反応して、気相から凝縮する化合物を形成することができる。次いで、凝縮された粒子状物質は、トラップによって廃水から除去される。本装置は、注入チャンバ、プラズマ発生装置、１つまたは複数のポンプ、およびスクラバーを含むことができる。【選択図】図５

WO/1999/050185	METHOD AND APPARATUS FOR STERILISING LIQUIDS
JP7391366	Contaminated water purification method and device for removing phosphate ions and nitrate ions
JPH10317154	METHOD FOR RECLAIMING SOLUTION FOR TIN PLATING AND APPARATUS THEREFOR

Houstin W
Cox michael es
Yuan Jen

JP2017559836A

November 08, 2018

June 14, 2016

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APPLIED MATERIALS,INCORPORATED

C02F1/461; B01D53/46; B01D53/78; C02F1/58; C02F1/62; H01L21/265

JP2007531214A	2007-11-01
JP2000317265A	2000-11-21
JPH1170386A	1999-03-16

Shinichiro Tanaka
Disciple Maru Ken
▲吉▼田 和彦
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Kudo Akira

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