Title:
周期的位置ずれの一次元測定のための計測ターゲット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023528464
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、試料の第１の作業ゾーンまたは第２の作業ゾーンの少なくとも１つ内に形成された１つまたは複数の第１のターゲット構造を有する第１のターゲット構造セットを含む計測ターゲットに関する。計測ターゲットは、第１の作業ゾーンまたは第２の作業ゾーンの少なくとも１つ内に形成された１つまたは複数の第２のターゲット構造を有する第２のターゲット構造セットを含む。第１の作業ゾーンは、試料の１つ以上の層のオーバーレイ誤差が存在しない場合に、第２の作業ゾーンの対称中心と重なる対称中心を含むことができる。計測ターゲットは、第３のターゲット構造セット、第４のターゲット構造セット、または第５のターゲット構造セットをさらに含むことができる。
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Inventors:
Feller Yoel
Guinoff Car Mark
Guinoff Car Mark
Application Number:
JP2022574428A
Publication Date:
July 04, 2023
Filing Date:
May 28, 2021
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G03F7/20; G01B11/00; G03F9/00; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office