Title:
フォトカソードキット、電子銃および電子線適用装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6679014
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】レンズとの焦点距離の調整が不要な透過型フォトカソードキットを提供する。【解決手段】フォトカソードキットは、フォトカソード膜２２を第１面２３に形成した基板２１と、レンズと、基板２１およびレンズ３を保持するホルダ４と、を含み、ホルダ４は、フォトカソード膜２２とレンズ４とを、所定の距離となるように保持する内部が中空のスペーサ４２と、ホルダ４の内部とホルダ４の外部とを連通する第１の連通部４５と、を有する。【選択図】図１
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Inventors:
Yu Kano
Taiki Sato
Watanabe Excitation
Tomoaki Moriya
Iijima Hokuto
Taiki Sato
Watanabe Excitation
Tomoaki Moriya
Iijima Hokuto
Application Number:
JP2019150764A
Publication Date:
April 15, 2020
Filing Date:
August 20, 2019
Export Citation:
Assignee:
Photo electron soul Co., Ltd.
International Classes:
H01J37/073; H01J1/34; H01J1/88; H01J3/02
Domestic Patent References:
| JP2001143648A | ||||
| JP5808021B2 |
Foreign References:
| WO2009119074A1 | ||||
| US20160172144 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto