Title:
めっき装置及びめっき方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7354484
Kind Code:
B1
Abstract:
パドルによるめっき液の撹拌力を向上させることができる技術を提供する。めっき装置１０００は、アノード１１と基板Ｗｆとの間に配置されてアノードに平行な方向で第１方向及び第２方向に往復移動することでめっき液Ｐｓを撹拌するように構成されるとともに、多角形の貫通孔７４を複数有するハニカム構造部７１を備えるパドル７０を備え、ハニカム構造部は、パドルの往復移動方向に垂直な方向である第３方向で中央部のパドル幅が、第３方向で端部のパドル幅よりも広い形状を有し、ハニカム構造部は、第１方向を向いた第１外周壁７５を有し、第１外周壁は、第１外周壁における第３方向で中央部に配置されるとともに第３方向に延在する第１中央壁７７を有する。
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Inventors:
Yasuyuki Masuda
Application Number:
JP2023548292A
Publication Date:
October 02, 2023
Filing Date:
April 27, 2023
Export Citation:
Assignee:
Ebara Corporation
International Classes:
C25D21/10
Domestic Patent References:
| JP7069442B1 | ||||
| JP2021130848A | ||||
| JP7279273B1 |
Attorney, Agent or Firm:
Toru Miyamae
Yukio Kanegae
Makoto Watanabe
Yuki Yamada
Yukio Kanegae
Makoto Watanabe
Yuki Yamada