Title:
プローバ及びプローブ検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024014956
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 ウエハやプローブを損傷することなく、ウエハチャックを安定してリリースすることができるプローバ及びプローブ検査方法を提供する。【解決手段】 プローバは、ウエハチャックに対向する面に複数のプローブを有するプローブカードと、ウエハチャックとプローブカードとの間に内部空間を形成するシール部材と、内部空間と外部空間との間を連通する連通路であって、プローブカード側に吸着保持されたウエハチャックを、内部空間を非密閉状態に切り替えたときに外部空間から内部空間に流入するエアにより目標リリース速度でリリースするために必要なエアの流量を確保可能な有効断面積を有する連通路とを備える。【選択図】 図１
Inventors:
Takuro Tanabe
Application Number:
JP2023194541A
Publication Date:
February 01, 2024
Filing Date:
November 15, 2023
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/66; G01R31/28
Attorney, Agent or Firm:
Kenzo Matsuura
Constitutional Matsuura
Kazuki Ohara
Kiyoshi Matsumura
Constitutional Matsuura
Kazuki Ohara
Kiyoshi Matsumura