Title:
加工装置、及び加工装置の管理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024001494
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】異常が発生したことを離れた作業者等に報知する。【解決手段】被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、情報を報知できる報知ユニットを備える外部加工装置と通信回線を介して通信できる通信機と、異常の発生を検出できる異常検出器と、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該異常検出器が異常の発生を検出したときに該通信機で該外部加工装置と通信し、該異常が発生したことを該外部加工装置の該報知ユニットが報知できるように該異常が発生したことを該外部加工装置に伝達する。【選択図】図２
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Inventors:
Yasuyuki Takeishi
Application Number:
JP2022100176A
Publication Date:
January 10, 2024
Filing Date:
June 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q17/00; G05B19/418; B24B49/16; H01L21/02; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
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