Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024001495
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】被加工物に付着した液体によって適切な研磨加工が阻害されることを防止可能な加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を加工する加工装置であって、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、研削ホイールが装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、研磨パッドが装着されるスピンドルを有する研磨ユニットと、研削ホイールによる被加工物の研削が行われる研削領域と研磨パッドによる被加工物の研磨が行われる研磨領域との間でチャックテーブルを移動させる移動機構と、チャックテーブルが研削領域と研磨領域との間を移動する際に、被加工物の被加工面側に残存する液体を除去する液体除去部と、を備える。【選択図】図１
Inventors:
Masaaki Suzuki
Nobu Maejima
Yuki Tamura
Nobu Maejima
Yuki Tamura
Application Number:
JP2022100177A
Publication Date:
January 10, 2024
Filing Date:
June 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/06; B24B7/00; B24B7/04; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato