Title:
感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011108665
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明の課題は、ライン幅のばらつきの発生を抑制して、所望形状のパターンを精度良く形成することのできる化学増幅型レジストを与える感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法を提供することである。本発明は、［Ａ］下記一般式（１）で表される繰り返し単位を含み、酸解離性基を有する重合体、［Ｂ］感放射線性酸発生剤、及び、［Ｃ］フッ素原子を含む重合体を含有し、重合体［Ａ］に含まれるフッ素原子の含有率が、重合体［Ｃ］に含まれるフッ素原子の含有率よりも少ない感放射線性樹脂組成物である。【化１】
Inventors:
Mineki Kawakami
Yasuhiko Matsuda
Tomohiro Kakizawa
Yasuhiko Matsuda
Tomohiro Kakizawa
Application Number:
JP2012503263A
Publication Date:
June 27, 2013
Filing Date:
March 03, 2011
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/039; C08F22/24; G03F7/004; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP2009237379A | 2009-10-15 | |||
| JP2007304545A | 2007-11-22 |
Foreign References:
| WO2009044666A1 | 2009-04-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Kiyoshi Kojima
Yoshinobu Hagino
Yasuyuki Hiraiwa
Yoshinobu Hagino
Yasuyuki Hiraiwa