Title:
センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017163815
Kind Code:
A1
Abstract:
本開示のセンサは、基板と、基板電極と、センサ素子と、センサ電極と、接続部材と、を有する。基板は、主面を有する。基板電極は、主面に設けられている。センサ素子は、主面に垂直な第１の面を有し、主面に平行な軸周りの角速度を検出する。センサ電極は、センサ素子の第１の面に設けられている。接続部材は、基板電極とセンサ電極とを接続する。主面付近でのセンサ電極の幅は、主面から離れた箇所でのセンサ電極の幅よりも狭い。
Inventors:
Katsuya Morinaka
Kaoru Tone
Kaoru Tone
Application Number:
JP2018507176A
Publication Date:
January 31, 2019
Filing Date:
March 03, 2017
Export Citation:
Assignee:
Panasonic IP Management Co., Ltd.
International Classes:
G01P1/04; G01P1/02
Domestic Patent References:
| JP2010171380A | 2010-08-05 | |||
| JP2010169614A | 2010-08-05 | |||
| JP2007132687A | 2007-05-31 | |||
| JP2006332564A | 2006-12-07 | |||
| JP2004361175A | 2004-12-24 |
Foreign References:
| US6035714A | 2000-03-14 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Kamada
Hiroo Maeda
Hiroo Maeda
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