Title:
固体ヒータ及び製造の方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023504618
Kind Code:
A
Abstract:
固体ヒータ及びヒータを製造する方法が開示される。このヒータは、グラファイトである部分と炭化ケイ素である他の部分とを含む単位部品を含む。２つ以上の末端の間で単位構造のグラファイト部分に電流が流される。炭化ケイ素は、電気を通さないが、単位部品全体に熱を伝導するのに効果的である。一部の実施態様では、固体ヒータを生成するために化学蒸気変換（ＣＶＣ）が使用される。必要であれば、過酷な環境から単位部品を保護するために、同部品にコーティングを適用することができる。【選択図】図６
Inventors:
Murrell, David
Sung, Dawei
Sung, Dawei
Application Number:
JP2022532723A
Publication Date:
February 06, 2023
Filing Date:
November 12, 2020
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01K1/10; H01K3/02
Domestic Patent References:
| JP2012051775A | 2012-03-15 | |||
| JP2010517224A | 2010-05-20 | |||
| JPH08190982A | 1996-07-23 | |||
| JP2001023759A | 2001-01-26 | |||
| JPH0426576A | 1992-01-29 | |||
| JP2018530504A | 2018-10-18 | |||
| JPH02276182A | 1990-11-13 | |||
| JPH03183612A | 1991-08-09 | |||
| JP2015230766A | 2015-12-21 | |||
| JPH11273835A | 1999-10-08 |
Foreign References:
| US20120270053A1 | 2012-10-25 | |||
| WO2002041370A2 | 2002-05-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation