Title:
スピンドルユニット及びキャップ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024001496
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】スピンドルの開口に位置する部分とハウジングの開口の周囲に位置する部分とを保護するとともに、ハウジングの先端面に沿うようなエアの噴射を抑制することが可能なキャップ、及び、このキャップが設けられたスピンドルユニットを提供する。【解決手段】固定具を利用してハウジングに装着される本体部のハウジングと対向する面（対向面）が、ハウジングと接触する接触領域と、接触領域よりも挿入部に近接し、かつ、ハウジングと接触しない非接触領域と、を含む。この場合、この固定具を利用して本体部をハウジングに押し付ける力が接触領域に集中する。すなわち、本体部の対向面の全てがハウジングの先端面と接触するような場合と比較して、対向面の接触領域とハウジングの先端面との界面にエアが侵入しにくくなる。その結果、ハウジングの先端面に沿うようなエアの噴射を抑制することが可能となる。【選択図】図３
Inventors:
Masashi Kobayashi
Application Number:
JP2022100178A
Publication Date:
January 10, 2024
Filing Date:
June 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23B19/02; B23Q1/38; B23Q11/08; B24B41/04; B24B55/06; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
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