Title:
化学機械研磨のための水蒸気生成
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024012279
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本開示は、化学機械研磨中の洗浄又は予熱のための水蒸気の使用に関する。【解決手段】水蒸気生成装置４１０は、キャニスタ４２０を下側チャンバ４２２と上側チャンバ４２４とに分割するキャニスタ４２０内のバリア４２６を含む。下側チャンバ４２２は、水入口４３２から水４４０を受け取るように配置されている。水蒸気出口４３６のバルブ４８２は、上側チャンバ４２４から水蒸気４４６を受け取る。バリア４２６は、水蒸気４４６が下側チャンバ４２２から上側チャンバ４２４に移るための複数の開口４２８を有し、凝縮水が上側チャンバ４２４から下側チャンバ４２２に移ることを可能にする。水蒸気生成装置４１０は、下側チャンバ４２２の一部分に熱を加える加熱要素４３０を含み、加熱要素４３０の上方且つ水蒸気出口４３６の下方に水位４４２を保つために、水入口４３２を通る水の流量を変更するように構成されたコントローラ１２を含む。【選択図】図４Ａ
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Inventors:
Soundara Rajan, Hari
Chan, Shaw-San
Wu, Haoshon
Butterfield, Paul Dee.
Tan, Chienshaw
Pollard, Chad
Chan, Shaw-San
Wu, Haoshon
Butterfield, Paul Dee.
Tan, Chienshaw
Pollard, Chad
Application Number:
JP2023155522A
Publication Date:
January 30, 2024
Filing Date:
September 21, 2023
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
B24B57/02; B24B37/00; B24B37/015; B24B49/10; B24B55/06; F22B1/28; F22D5/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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