Title:
表面電位分布計測装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024031444
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】計測対象の表面電位の分布を素早く計測することができ、目的に応じて容易に空間分解能を変更することが可能な表面電位分布計測装置を提供する。【解決手段】表面電位分布計測装置は、複数のセンサ１２を備えるセンサ基板１０と、センサ基板１０を着脱可能に保持する保持部２０と、センサ基板１０と保持部２０とを振動させる振動部４０と、各センサ１２を用いて、電位を計測する電気特性計測部５０と、を備え、センサ基板１０は基板１１と、基板１１の一方の表面である第１面に設けられる複数のセンサ１２と、第１面の反対の面である第２面に露出し、かつ、各センサ１２からそれぞれ基板１１の板厚方向に延在した複数の導電部１４と、を備え、各導電部１４は互いに絶縁され、センサ基板は、前記第２面に、前記電気特性計測部と前記各導電部とをそれぞれ電気的に着脱可能に接続する接続部１５を備える。【選択図】図１
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Inventors:
Kazuya Kikunaga
Application Number:
JP2022134993A
Publication Date:
March 07, 2024
Filing Date:
August 26, 2022
Export Citation:
Assignee:
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
International Classes:
G01R29/12
Attorney, Agent or Firm:
Kazuzumi Nishizawa
Makiko Otsuki
Onami Kazunori
Makiko Otsuki
Onami Kazunori