Title:
画像ハッシュを用いた教師なしパターン同義物検出
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023540530
Kind Code:
A
Abstract:
半導体ウェハの画像をハッシュ化して、画像の各々の固定長ハッシュストリングを決定することができる。パターン同義物は、ハッシュストリングから決定することができる。パターン同義物はグループ化することができる。グループ内の画像間の類似度は、ハミング距離を介して調整可能である。これは、潜在的欠陥の決定を含む様々な用途に使用することができる。
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Inventors:
Narasimhan Narayani
meenakshisundaram ganesh
meenakshisundaram ganesh
Application Number:
JP2023514877A
Publication Date:
September 25, 2023
Filing Date:
September 08, 2021
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G01N21/956; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office