Title:
バックアップパッド
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023547216
Kind Code:
A
Abstract:
研磨ディスクにわたって接触圧力を調整する方法が提示される。方法は、研磨ディスクを、研磨ディスクの半径にわたって加工表面によって経験される圧力を均一にさせる圧力調節特徴部を備えるバックアップパッドに結合することを含む。方法はまた、研磨ディスクを加工表面に接触させることによって加工表面を研磨することを含む。バックアップパッドは、圧力調節特徴部を有しないバックアップパッド上の研磨ディスクと比較して、研磨ディスクの表面にわたって実質的に均一である切削率を有する研磨ディスクをもたらす。
Inventors:
Javed, Samad
Arthur, Jonathan Bee.
Riddle, Justin A.
Farley, Joseph Bee.
Hemmes, Brett Earle.
Stray, Thomas Jay.
Arthur, Jonathan Bee.
Riddle, Justin A.
Farley, Joseph Bee.
Hemmes, Brett Earle.
Stray, Thomas Jay.
Application Number:
JP2023526163A
Publication Date:
November 09, 2023
Filing Date:
November 01, 2021
Export Citation:
Assignee:
3M Innovative Properties Company
International Classes:
B24D9/08; B24B27/00; B24B41/04; B24B45/00; B24B49/16; B24D7/16; B25J13/08
Attorney, Agent or Firm:
Ken Fujii
Wakako Nomura
Tsukuda Seigen
Hideto Asamura
Wakako Nomura
Tsukuda Seigen
Hideto Asamura