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Title:
コールドエッジ低温静電チャック
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023546200
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】静電チャックが提供される。一例では、静電チャックは、ベースプレートと、ベースプレートの上に配置されているボンド層と、セラミックプレートと、ヒータとを含む。セラミックプレートは、ボンド層の上に配置されている底面と、基板を支持するための隆起上面とを含む。隆起上面は、外径を含む。ヒータは、セラミックプレートの底面とボンド層の間に配置されている。ヒータ要素は、内側発熱体と外側発熱体とを含む。内側発熱体は、セラミックプレートの底面に隣接する中央円形領域に配置され、外側発熱体は、中央円形領域を取り囲み、かつセラミックプレートの底面に隣接する環状領域に配置されている。外側発熱体の外径は、セラミックプレートの環状ヒータセットバック領域からはめ込まれる。環状ヒータセットバック領域は、隆起上面の外径と外側発熱体の外径の間にある。ベースプレートは、複数の冷却チャネルを含む。複数の冷却チャネルは、内側発熱体の下、外側発熱体の下、かつ環状ヒータセットバック領域の下に配置されている。複数の冷却チャネルの各々は、冷却流体を流して、セラミックプレートの環状ヒータセットバック領域において熱伝導冷却を引き起こすように構成されている。【選択図】図３Ａ

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Inventors:
Chatre Ambarish
Chan Patrick
Marol Dan
Rossley Craig A.
Seton David A.
Shaikh Muhammad Sohail
Application Number:
JP2023524095A
Publication Date:
November 01, 2023
Filing Date:
September 09, 2021
Export Citation:
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Assignee:
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
H01L21/683; C23C16/44; H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Meisei International Patent Office



 
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