Title:
ドレッシング方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024010709
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】複数の研削砥石に対して過不足のないドレッシングを行うことが可能なドレッシング方法を提供する。【解決手段】複数の研削砥石をドレッシングするドレッシングステップがドレッサーボードの厚みを測定しながら実施されるとともに、このドレッシングステップにおいて測定されたドレッサーボードの厚みを利用して算出される値が所定の値となった時点でドレッシングステップが終了する。これにより、複数の研削砥石に対して過不足のないドレッシングを行うことが可能となる。【選択図】図４
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Inventors:
Keiichi Suzuki
Application Number:
JP2022112141A
Publication Date:
January 25, 2024
Filing Date:
July 13, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B53/02; B24B49/18; B24B53/12; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato