Title:
A laser micro fabrication method and a device
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016535675
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】本発明は、その一態様によれば、所定の材料でできた試料のレーザ微細加工用の装置（６０）に関し、所定の入射ビームから非回折ビームの生成を可能にし、前記非回折ビームが集光モジュールの光軸に概ね沿って配向される集束シリンダに沿って集光される集光モジュールと、前記集光モジュールが試料中に集光した後に前記試料の体積中の前記集束シリンダの側面に位置する多光子吸収による自由電荷のプラズマの生成に適した少なくとも一つの第１光パルス（１１）を透過させる手段（６０１）と、を含む。【選択図】図６
Inventors:
Courvoisier, Francois
La Cour, Pierre-Ambroise
Kueyron, Arnaud
La Cour, Pierre-Ambroise
Kueyron, Arnaud
Application Number:
JP2016524023A
Publication Date:
November 17, 2016
Filing Date:
October 16, 2014
Export Citation:
Assignee:
Center National de la Cherche Scientific-CNR
International Classes:
B23K26/06; B23K26/38; B23K26/382; H01L21/302; H01S3/00; H01S3/10
Domestic Patent References:
| JP2004136358A | 2004-05-13 | |||
| JP2010247230A | 2010-11-04 | |||
| JP2007196277A | 2007-08-09 | |||
| JP2005153013A | 2005-06-16 | |||
| JP2008062263A | 2008-03-21 | |||
| JP2015520938A | 2015-07-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Sakaki Morishita
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