Title:
酸拡散制御剤、感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、化合物及び化合物の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013172239
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、下記式(1)で表される化合物及び下記式(2)で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物からなる酸拡散制御剤である。下記式(1)中、R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜10の1価の炭化水素基であり、R2及びR3のうちの少なくとも一方が、炭素数1〜10の1価の炭化水素基である。R6及びR7は、それぞれ独立して、水素原子若しくは炭素数1〜10の1価の炭化水素基であるか、又はR6及びR7が互いに結合してそれらが結合する窒素原子と共に環員数3〜10の環構造を形成している。下記式(2)中、R10は、水素原子又は炭素数1〜10の1価の炭化水素基である。
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Inventors:
Ikui Junto
Norihiko Ikeda
Norihiko Ikeda
Application Number:
JP2014515583A
Publication Date:
January 12, 2016
Filing Date:
May 08, 2013
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/004; C07C227/08; C07C229/12; C07D211/14; C07D215/06; C07D295/14; C07D307/93; C07D307/94; C07D317/30; C07D327/04; C07D493/10; C07H9/04; G03F7/038; G03F7/039
Domestic Patent References:
JP2008107513A | 2008-05-08 | |||
JP2010250076A | 2010-11-04 | |||
JP2002226470A | 2002-08-14 | |||
JP2002363148A | 2002-12-18 | |||
JP2002333714A | 2002-11-22 | |||
JP2012137729A | 2012-07-19 | |||
JP2007041146A | 2007-02-15 | |||
JP2006251672A | 2006-09-21 | |||
JP2003043678A | 2003-02-13 |
Other References:
M.PROST, M.URBAIN AND R. CHARLIER: "Propargyl derivatives. VII (1) Propynlycarbinol basic esters, ethers and carbamates", CHIMICA THERAPEUTICA, vol. 2, JPN6017024668, 1967, FR, pages 133 - 143, ISSN: 0003591137
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano
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