Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024020719
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】被加工物の加工を正常に行うための作業を簡素化するとともに、その所要時間を短くすることが可能な加工装置を提供する。【解決手段】被加工物の加工を正常に実施できないと判定された場合に、その理由を示すテキストと、複数のセンサのそれぞれによって検知された情報のうち当該理由に関連する少なくとも二つの情報と、を表示ユニットに表示する。これにより、複数のセンサのいずれにおいて被加工物の加工を正常に実施できない理由となる事象が検知されたかがオペレータに報知される。この場合、オペレータが加工装置の構成要素のうち当該事象が生じているものを確認し、それを適切な状態にすることによって、加工装置における被加工物の加工を正常に行うことが可能になる。その結果、被加工物の加工を正常に行うための作業を簡素化するとともに、その所要時間を短くすることが可能になる。【選択図】図８
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Inventors:
Kyohei Nakanishi
Application Number:
JP2022123114A
Publication Date:
February 15, 2024
Filing Date:
August 02, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q17/00; B23Q11/00; B23Q11/08; B23Q11/10; B24B55/00; H01L21/301; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato