以下図面を参考にして本発明の好適な実施� ��態を詳細に説明する。
 本発明は、少なくとも1度使用された研磨組 成物(スラリー)に添加される研磨組成物用添� ��剤である。本発明の研磨組成物用添加剤は� ��1種または2種以上のアミン化合物と、アル� �ールとを含むことを特徴とし、このアミン� �合物には、第4級アンモニウム塩を含むこと� ��好ましい。
 たとえば、1度使用されたスラリーを回収し 、再度同じ条件や同じ研磨装置などで使用す ることを繰り返すような循環使用する場合、 1度使用されたスラリーを回収し、別の条件� �別の研磨装置などで複数回使用するような� �段使用の場合に、本発明の研磨組成物用添� �剤を添加することで、研磨特性の低下を防� �、ばらつきを抑えることが可能である。
 アミン化合物としては、1種または2種以上� �含み、1種のみを含む場合は、たとえば、水� ��化テトラメチルアンモニウムの(TMAH)ような� ��アルカリ性の第4級アンモニウム塩が好まし い。
 アミン化合物を2種以上含む場合は、第4級� �ンモニウム塩と、第4級アンモニウム塩以外� ��、水溶性または水分散性の第1級アミン化合 物、第2級アミン化合物、第3級アミン化合物� ��およびアミノ基を主鎖または側鎖に有する� ��リアルキレンイミンなどの高分子化合物か� ��選ばれる1種または2種以上の化合物とを用� �ることが好ましい。具体的には、アンモニ� �、コリン、モノエタノールアミン、アミノ� �チルエタノールアミン、アミノエチルピペ� �ジン、ピペラジン、ポリエチレンイミンな� �が挙げられ、特にピペラジンが好ましい。
 さらに、研磨組成物にアミン化合物が予め� ��まれている場合は、研磨組成物に含まれて� ��るアミン化合物と同じアミン化合物を含む� ��とが好ましい。
 したがって、研磨組成物に予めアミン化合� ��が含まれている場合、研磨組成物用添加剤� ��しては、アミン化合物として第4級アンモニ ウム塩のみを含むか、第4級アンモニウム塩� �、研磨組成物に含まれているアミン化合物� �同じアミン化合物とを含むことが特に好ま� �い。
 研磨組成物用添加剤は、研磨組成物に対し� ��添加して使用するので、研磨組成物が希釈� ��れ、砥粒濃度の低下などを引き起こすこと� ��なる。このような添加による希釈の影響を� ��さくするためには、添加量を少なくする必� ��がある。したがって、アミン化合物をなる� ��く高濃度で含むような研磨組成物用添加剤� ��好ましい。一方で高濃度のアミン化合物溶� ��を研磨組成物に添加した際、砥粒であるコ� ��イダルシリカが直ちに凝集または溶解する� ��うな高濃度は適切ではない。
 たとえば、第4級アンモニウム化合物の中で TMAHの場合、好ましい濃度は、研磨組成物用� �加剤全量に対して、1~20重量%である。また、 常温で固体であるアミン化合物を含む場合、 たとえばピペラジンにおいては、1~10重量%の� ��度範囲が好ましい。
 希釈の防止を考慮してアミン化合物を高濃� ��に含む場合、常温および低温下でアミン化� ��物が析出するおそれがあり、当然アミン化� ��物の析出は避けるべきである。
 アミン化合物の場合、常温では溶解可能な� ��度であっても、冬季で使用中の装置そのも� ��が低温となったり、輸送、保管時に低温に� ��った場合に析出し、温度が上昇したとして� ��再溶解することが難しいので、一旦析出し� ��しまうと装置を停止し、研磨組成物を除去� ��て交換するなど時間、労力、コストに多大� ��影響を与えることになる。
 そこで、本発明の研磨組成物用添加剤には� ��アルコールを含むことを大きな特徴として� ��る。
 アルコールを含むことで、アミン化合物が� ��記のように高濃度で含まれていても、析出� ��防止することができる。さらに、液温が低� ��することで析出してしまった場合であって� ��温度が上昇すれば速やかに再溶解する。
 本発明の研磨組成物用添加剤に含まれるア� ��コールとしては、脂肪族飽和アルコールか� ��選ばれる1種または2種以上を用いることが� �き、メタノール、エタノール、プロパノー� �、ブタノールが好ましく、特にメタノール� �よびエタノールが好ましい。
 研磨組成物用添加剤中のアルコール濃度は� ��0.5~10.0重量%である。アルコール濃度が0.5重� ��%より低い場合は、高濃度のアミン化合物の 析出を抑えることが困難であり、10.0重量%よ� ��高い場合は、アルコール過多により研磨レ� ��トの低下といった影響が生じる。またアル� ��-ル濃度にて火気安全性や、においが原因で 、作業環境に支障をきたす。
 また、研磨組成物用添加剤に、有機酸(キレ ート剤)を加えることで研磨ウエーハの金属� �染を防止することも可能である。この有機� �は、研磨剤中および研磨装置・環境から生� �る金属イオンと、溶液中で錯体を形成し、� �エーハ表面および内部への金属汚染を妨げ� �効果がある。加える有機酸は、炭素数2~6の� �ノカルボン酸、炭素数2~6のジカルボン酸、� �素数3~6のトリカルボン酸およびアスコルビ� �酸から選ばれ、また一般にキレート剤と呼� �れるものとして、エチレンジアミン4酢酸、� ��ドロキシエチルエチレンジアミン3酢酸、ジ エチレントリアミン5酢酸、ニトリロ3酢酸、� ��リエチレンテトラミン6酢酸、ヒドロキシエ チルイミノ2酢酸、ジヒドロキシエチルグリ� �ン、エチレングリコール-ビス(β-アミノエチ ルエーテル)-N,N’-4酢酸および1,2-ジアミノシ� ��ロヘキサン-N,N,N’,N’-4酢酸から選ばれる1� �または2種以上を添加することができる。有� ��酸の濃度は、研磨剤、研磨装置・環境およ� ��必要とされるウエーハ純度に依存するが、1 ppm以上1000ppm未満が好ましい。
 研磨組成物を循環使用、多段使用していく� ��ちに、特に長期使用すると研磨バッチ毎に� ��ずかな砥粒が損失される。これは研磨バッ� ��毎のウエーハ交換の際に、装置内に残る研� ��組成物が一旦洗浄純水と共に廃棄されるた� ��であり、長期使用においては砥粒または研� ��組成物自体の継ぎ足しが必要な場合がある� ��このような継ぎ足しを行わないようにする� ��めには、研磨組成物に含まれる砥粒と同じ� ��類の砥粒を、本発明の研磨組成物用添加剤� ��微小濃度添加して、砥粒の損失を補うこと� ��可能である。
 以上のように、研磨組成物用添加剤は、1種 または2種以上のアミン化合物と、アルコー� �とを含むので、複数回繰り返して使用する� �ど1度使用した研磨組成物に添加することで� ��研磨特性の低下を防ぎばらつきを抑えるこ� ��ができる。さらに、高濃度のアミン化合物� ��含む場合であっても、その析出を防止し、� ��出したとしても速やかに再溶解させること� ��できる。
 研磨組成物用添加剤を研磨組成物に添加す� ��タイミングについて説明する。図1は、循環 使用の場合の添加タイミングを示す図であり 、図2は、多段(3段)使用の場合の添加タイミ� �グを示す図である。研磨組成物への添加の� �イミングとしては、(1)研磨組成物を研磨機� �供給する前、(2)研磨組成物がスラリータン� �に貯溜している間、(3)研磨組成物を回収後� �ラリータンクに戻す前、(4)研磨終了直後(研� ��機から回収タンクまでの間)などが好ましく 、直接研磨組成物に添加することが可能で撹 拌によって混合しやすいことから(2)研磨組成 物がスラリータンクに貯溜している間に添加 するタイミングが特に好ましい。
 研磨組成物用添加剤の添加量などは、研磨� ��成物のpHや組成または研磨レートをモニタ� �ングしておき、変動が小さくなるように適� �調整することが望ましい。