CARVALHO MENEZES ELISABETE HENRIQUETTA SOARES DE (BR)
JILAVI MOHAMMAD (DE)
KOENIG PETER (DE)
| CN102061112A | 2011-05-18 |
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| Patentansprüche 1. Zusammensetzung zur Herstellung einer Antireflexionsbe- schichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusammensetzung folgende Bestandteile umfasst a) mindestens eine hydrolysierbare Silanverbindung; b) mindestens eine hydrolysierbare Metallverbindung, wobei die Verbindung auch teilweise hydrolysiert und/oder kondensiert vorliegen kann; c) mindestens eine organische Verbindung mit mindestens zwei funktionellen koordinativen Gruppen oder Vorstufen davon; und d) mindestens ein Lösungsmittel. 2. Zusammensetzung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die organische Verbindung mindestens zwei funktionelle Grup¬ pen oder Vorstufen davon aufweist, ausgewählt aus der Gruppe Aminogruppe, Carbonsäuregruppen, Hydroxylgruppen und Thiole. 3. Zusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die organische Verbindung eine Di-, Tri- oder Tetracarbonsäure, Di-, Tri- oder Tetracarbonsäureester und/oder ein Anhydrid und/oder Ester einer solchen Verbindung ist. 4. Zusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die hydrolysierbare Metallverbindung eine Verbindung der Formel MXn ist, wobei X ein hydrolysierbarer Rest ist und M aus¬ gewählt ist aus den Gruppen Ia, IIa, lila, IVa bis Via und Ib bis VHIb und n der Wertigkeit des Metalls entspricht. 5. Zusammensetzung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass M ausgewählt ist aus der Gruppe umfassend AI, B, Sn, Fe, Ti, Zr, V oder Zn. 6. Zusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestandteile a) , b) und c) zumindest teilweise ein Koor¬ dinationspolymer bilden. 7. Zusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das molare Verhältnis von Silizium und Metallion der Verbindungen a) und b) zwischen 100:1 und 1:2 beträgt 8. Verfahren zur Herstellung einer Antireflexionsbeschichtung umfassend folgende Schritte a) Herstellen einer Zusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 b) Auftragen der Zusammensetzung auf ein Substrat; c) thermische Behandlung der Beschichtung . 9. Antireflexionsbeschichtung erhalten nach dem Verfahren gemäß Anspruch 8. 10. Beschichtetes Substrat mit einer Beschichtung nach An¬ spruch 9. 11. Verwendung einer Antireflexionsbeschichtung in optischen Elementen . |
Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Antireflexionsbeschichtung, insbesondere eine einschichtige Antireflexionsbeschichtung, sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Beschichtung und ihre Verwendung.
Stand der Technik Physical vapour deposition (PVD) und chemical vapour deposition (CVD) sind übliche Verfahren zur Herstellung von Antireflexi- onsbeschichtungen . Allerdings machen die für diese Verfahren benötigten Vakuumanlagen die Herstellung solcher Beschichtungen sehr teuer, insbesondere für große Oberflächen. Nasschemische Methoden, wie die Sol-Gel-Methode, sind dabei günstige Verfah ¬ ren zur Herstellung von Antireflexionsbeschichtungen auch für große Oberflächen. In der Regel werden hochwertige Antireflexi ¬ onsbeschichtungen durch mehrschichtige Beschichtungen erreicht. Dies ist nicht nur zeitaufwändig, sondern auch teuer, insbeson- dere wegen der aufwändigeren thermischen Härtung. Es hat sich gezeigt, dass die Industrie daher einschichtige Beschichtungen für große Flächen und große Stückzahlen benötigt, wie zum Bei- spiel für Solarzellen. Solche einschichtigen Beschichtungen zeigen eine breitbandige Transmission des solaren Spektrums, welche gerade für Solarzellen benötigt werden. Nach bisher üblichen Verfahren werden solche einschichtige oder einlagige Antireflexionsschichten aus porösem S1O 2 im Sol-Gel- Verfahren hergestellt.
Die Porosität der Beschichtungen, insbesondere durch die einge- schlossene Luft, reduziert dabei den Brechungsindex der Be- schichtung von theoretisch 1,5 (reines S1O 2 ) auf 1,1 - 1,45 in Abhängigkeit von der Porosität und des Herstellungsverfahrens der Si0 2 ~Martix (1, 2, 3, 4, 5) . Die Porosität muss daher genau gesteuert werden, um hochwertige Beschichtungen zu erhalten.
Eine bekannte Klasse von Verbindungen, welche poröse Strukturen aufbauen sind die Koordinationspolymere, insbesondere die soge ¬ nannten metal-organic frameworks (MOFs) (6, 7, 8, 9, 10) . Dies sind Verbindungen, welche aus über Liganden verbrückten metall- organische Zentren bestehen. Durch die geeignete Wahl der Liganden und der metallorganischen Zentren ist es in diesen Verbindungen möglich, die Porosität der erhaltenen Struktur einzustellen. Dabei kann auch das verwendete Lösungsmittel oder Lö ¬ sungsmittelgemisch eine Rolle spielen. Diese Verbindungen wer- den vor allem im Bereich der Katalyse eingesetzt, da die ent ¬ haltenen Metallzentren oft auch eine katalytische Wirkung haben. Daher werden die Verbindungen in der Regel auch nicht thermisch behandelt, da dann diese Fähigkeiten verloren gehen. Antireflexionsbeschichtungen mit MOFs sind nicht bekannt.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung eine Antireflexionsbe- schichtung bereitzustellen, welche eine bessere Kontrolle der Porosität der Beschichtung erlaubt. Diese Aufgabe wird durch die Erfindungen mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindungen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird hiermit durch Bezugnahme zum Inhalt dieser Beschreibung gemacht. Die Erfindungen umfassen auch alle sinnvollen und insbesondere alle erwähnten Kombinati ¬ onen von unabhängigen und/oder abhängigen Ansprüchen.
Die Aufgabe wird durch eine Beschichtungszusammensetzung ge- löst, welche mindestens eine hydrolysierbare Silanverbindung, mindestens eine hydrolysierbare Metallverbindung, wobei die Verbindung auch teilweise hydrolysiert und/oder kondensiert vorliegen kann, mindestens eine organische Verbindung mit mindestens zwei funktionellen koordinativen Gruppen oder Vorstufen davon und mindestens ein Lösungsmittel umfasst.
Der Begriff "mindestens eine organische Verbindung mit mindes ¬ tens zwei funktionellen koordinativen Gruppen" bezeichnet eine organische Verbindung, die mindestens zwei funktionelle Gruppen enthält, die in der Lage ist, zu einem gegebenen Metallion ko- ordinative Bindungen aufzubauen. Bevorzugt sind dabei organi ¬ sche Gruppen, welche zwei oder mehr funktionelle Bindungen auf ¬ bauen können. Bevorzugt sind dabei organische Verbindungen, welche über die funktionellen Gruppen koordinative Bindungen zu zwei oder mehr, bevorzugt zu zwei Metallatomen ausbilden können. Solche bevorzugten Verbindungen sind besonders zum Aufbau von Koordinationspolymeren geeignet.
Ohne an eine bestimmte Theorie gebunden zu sein, wird angenom- men, dass in der Zusammensetzung Koordinationspolymere, insbe ¬ sondere MOFs gebildet werden. Dazu dienen insbesondere die hyd ¬ rolysierbare Metallverbindung und die organische Verbindung. Allerdings wird auch die Silanverbindung an der Bildung des MOFs beteiligt sein. Insgesamt hat der Aufbau eines solchen Ko- ordinationspolymers den Vorteil, dass sich in der Zusammenset ¬ zung ein definiertes Gerüst bildet, welche zu einer definierten Porenbildung führt.
Die koordinativen Bindungen müssen dabei nicht zu einer einzelnen Verbindung ausgebildet werden. Es ist auch möglich, dass die organische Verbindung Kondensate der Metallverbindung und/oder der Silanverbindung verbindet. Es ist natürlich auch möglich, dass sich ein Teil der Verbindungen, welche nicht am MOF beteiligt sind, innerhalb der Poren einlagert.
Die definierte Struktur innerhalb der Zusammensetzung ist auch für die hergestellte Antireflexionsbeschichtung von großer Bedeutung. Zur Herstellung der Antireflexionsbeschichtung wird die aufgetragene Zusammensetzung thermisch behandelt. Dabei wird das Lösungsmittel entfernt und die organischen Bestandtei ¬ le, d.h. auch die organischen Verbindungen, werden in der Regel ausgebrannt. Dennoch hat die sich in der Zusammensetzung gebildete Struktur einen Einfluss auf die Struktur der späteren Antireflexionsschicht, insbesondere auf deren poröse Struktur, welche wichtig für den erhaltenen Brechungsindex ist. Dadurch ist es möglich durch eine definierte Struktur in der Zusammensetzung die Struktur der späteren Antireflexionsbeschichtung zu beeinflussen .
Die Zusammensetzung enthält mindestens eine hydrolysierbare Silanverbindung. Dies ist bevorzugt eine Verbindung der Formel
R 1 aS iX 4 - a ( I ) wobei X für einen oder mehrere hydrolysierbare Reste, welche gleich oder verschieden sein können, steht. Geeignete Beispiele für hydrolysierbare Reste X der obigen For ¬ meln sind Wasserstoff, Halogen (F, Cl, Br oder I, insbesondere Cl oder Br) , Alkoxy (z.B. Ci-6 _ Alkoxy, wie z.B. Methoxy,
Ethoxy, n-Propoxy, i-Propoxy und n-, i-, sek.- oder tert.- Butoxy) , Aryloxy (vorzugsweise C6-io~Aryloxy, wie z.B. Phenoxy) , Alkaryloxy, z.B. Benzoyloxy, Acyloxy (z.B. Ci-6-Acyloxy, vor ¬ zugsweise Ci-4-Acyloxy, wie z.B. Acetoxy oder Propionyloxy) und Alkylcarbonyl (z.B. C2-7-Alkylcarbonyl wie Acetyl) . Ebenfalls geeignet sind H2, mit Alkyl, Aryl und/oder Aralkyl mono oder disubstituiertes Amino, wobei Beispiele für die Alkyl-, Aryl und/oder Aralkylreste die nachstehend für R 1 angegebenen sind, Amido wie Benzamido oder Aldoxim oder Ketoximgruppen. Zwei oder drei Gruppen X können auch miteinander verbunden sein, z.B. bei Si-Polyolkomplexen mit Glycol, Glycerin oder Brenzcatechin . Die genannten Gruppen können gegebenenfalls Substituenten, wie Halogen, Hydroxy, Alkoxy, Amino oder Epoxy, enthalten. Bevorzugte hydrolytisch abspaltbare Reste X sind Halogen, Alkoxygruppen und Acyloxygruppen . Besonders bevorzugte hydrolytisch abspalt ¬ bare Reste sind C1-4- Alkoxygruppen, insbesondere Methoxy und Ethoxy.
Dabei kann a den Wert 0, 1 oder 2 annehmen, bevorzugt sind Silane mit a gleich 0 oder 1, besonders bevorzugt a gleich 0. Dies sind Silane mit vier hydrolysierbaren Resten, welche be- vorzugt alle identisch sind.
R 1 steht für einen oder mehrere nicht hydrolysierbare Reste. Dies sind z.B. Alkyl (z.B. Ci-2o~Alkyl, insbesondere Ci-4-Alkyl, wie Methyl, Ethyl, n-Propyl, i-Propyl, n-Butyl, i-Butyl, sek.- Butyl und tert . -Butyl ) , Alkenyl (z.B. C2-2o _ Alkenyl , insbesondere C2-4~Alkenyl , wie Vinyl, 1-Propenyl, 2-Propenyl und Butenyl) , Alkinyl (z.B. C2-2o~Alkinyl , insbesondere C2-4-Alkinyl , wie Ethi- nyl oder Propargyl) , Aryl (insbesondere C6-io~Aryl, wie Phenyl und Naphthyl) und entsprechende Aralkyl und Alkarylgruppen, wie Tolyl und Benzyl, und cyclische C3-Ci2-Alkyl und - Alkenylgruppen, wie Cyclopropyl, Cyclopentyl und Cyclohexyl.
Die Reste R 1 können übliche Substituenten aufweisen, bei denen es sich um funktionelle Gruppen handeln kann, über die nach Bedarf auch eine Vernetzung möglich ist. Übliche Substituenten sind z.B. Halogen (z.B. Chlor oder Fluor), Epoxid (z.B. Gly- cidyl oder Glycidyloxy) , Hydroxy, Ether, Ester, Amino, Monoal- kylamino, Dialkylamino, gegebenenfalls substituiertes Anilino, Amid, Carboxy, Alkenyl, Alkinyl, Acryl, Acryloxy, Methacryl,
Methacryloxy, Mercapto, Cyano, Alkoxy, Isocyanato, Aldehyd, Ke- to, Alkylcarbonyl , Säureanhydrid und Phosphorsäure. Diese Sub ¬ stituenten sind über zweiwertige Brückengruppen, insbesondere Alkylen-, Alkenylen oder Arylen-Brückengruppen, die durch
Sauerstoffoder -NH-Gruppen unterbrochen sein können, an das Siliziumatom gebunden. Die Brückengruppen enthalten z. B. 1 bis 18, vorzugsweise 1 bis 8 und insbesondere 1 bis 6 Kohlenstoff ¬ atome. Die genannten zweiwertigen Brückengruppen leiten sich z.B. von den oben genannten einwertigen Alkyl-, Alkenyl oder Arylresten ab. Natürlich kann der Rest R 1 auch mehr als eine funktionelle Gruppe aufweisen.
Bevorzugte Beispiele für nicht hydrolysierbare Reste R 1 mit funktionellen Gruppen, über die eine Vernetzung möglich ist, sind ein Glycidyl oder ein Glycidyloxy- (C1-20) -alkylen-Rest , wie ß-Glycidyloxyethyl, γ-Glycidyloxypropyl , δ-Glycidyloxybutyl , ε- Glycidyloxypentyl , co-Glycidyloxyhexyl , und 2- (3, 4-Epoxy- cyclohexyl ) ethyl , ein (Meth) acryloxy- (C1-6) -alkylen-Rest , z.B. (Meth) acryloxymethyl , (Meth) acryloxyethyl , (Meth) acryloxypropyl oder (Meth) acryloxybutyl , und ein 3-Isocyanatopropylrest . Be ¬ sonders bevorzugte Reste sind γ-Glycidyloxypropyl und
(Meth) acryloxypropyl . Hierbei steht (Meth) acryl für Acryl und Methacryl . Bevorzugte Reste R 1 , die eingesetzt werden, sind Reste ohne Sub- stituenten oder funktionelle Gruppen, insbesondere Alkylgrup- pen, vorzugsweise mit 1 bis 4 Kohlenstoffatomen, insbesondere Methyl und Ethyl, sowie Arylreste wie Phenyl .
Beispiele für Silanverbindungen der Formel (I) sind Methyltri- methoxysilan, Methyltriethoxysilan, Ethyltriethoxysilan,
Isobutyltrimethoxysilan, Isobutyltriethoxysilan,
Octyltriethoxysilan, Octyltrimethoxysilan, (3- Glycidyloxypropyl ) methyldiethoxysilan, (3-
Glycidyloxypropyl ) trimethoxysilan, Phenyltrimethoxysilan oder Phenyltriethoxysilan, Tetraalkoxysilane wie Tetramethoxysilan (Si(OCH 3 ) 4 ), Tetraethoxysilan (Si (OC 2 H 5 ) 4 ) , Tetrapropoxysilan Si (O-n- oder i-C 3 H 7 ) 4 , Si(OC 4 H 9 ) 4 , sowie SiCl 4 , HS1CI3, Si(OOCCH 3 ) 4 oder Gemische solcher Silanverbindungen, wobei Tetraalkoxysila ¬ ne wie Tetramethoxysilan (Si(OCH 3 ) 4 ), Tetraethoxysilan
(Si (OC2H5) 4 ) , Tetrapropoxysilan Si (O-n- oder i-C 3 H 7 ) 4 , Si(OC 4 H 9 ) 4 , sowie SiCl 4 , HSiCl 3 , Si(OOCCH 3 ) 4 oder Gemische davon bevorzugt sind. Besonders bevorzugt sind Tetraalkoxysilane wie Tetrame- thoxysilan oder Tetraethoxysilan oder deren Gemische.
Die Zusammensetzung enthält außerdem eine hydrolysierbare Me ¬ tallVerbindung . Die Metallverbindung ist eine hydrolysierbare Metallverbindung, d.h. die enthält mindestens eine Gruppe, welcher durch Reaktion mit Wasser ausgetauscht werden kann, d.h. welche hydrolytisch abspaltbar ist.
Solche Verbindungen sind beispielsweise Halogenide, wie Fluori de, Chloride, Bromide oder Iodide, Alkoxide, Carbonsäureverbin düngen, Cyanide oder Sulfide. In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Verbindung eine Verbindung der Formel (II) :
MX n (II) wobei M ausgewählt ist aus den Gruppen Ia, IIa, lila, IVa bis Via und Ib bis Vlllb. Besonders bevorzugt sind Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Re, Fe, Ro, Os, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Hg, B, AI, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, As, Sb und Bi . Besonders bevorzugt sind Zn,
AI, Mg, Ca, Ti, Zr, Cu, Ni, Fe, Pd, Pt, Ru, Rh und Co. Insbe ¬ sondere bevorzugt sind Zn, AI, Ti, Zr, Ni, Cu, Mg, Ca, Fe. In
Bezug auf die Ionen dieser Elemente sind besonders zu erwähnen
Mg 2+ , Ca 2+ , Sr 2+ , Ba 2+ , Sc 3+ , Y 3+ , Ti 4+ , Zr 4+ , Hf 4+ , v 4+ , V 3+ , V 2+ ,
Nb 3+ , Ta 3+ , Cr 3+ , Mo 3+ , W 3+ , Mn 3+ , Mn 2+ , Re 3+ , Re 2+ , Fe 3+ , Fe 2+ , Ru 3+ ,
Ru 2+ , Os 3+ , Os 2+ , Co 3+ , Co 2+ , Rh 2+ , Rh + , lr 2+ , lr + , Ni 2+ , Ni + , Pd 2+ ,
Pd + , Pt , Pt + , Cu , Cu , Ag + , Au , Zn , Cd , Rg z+ , AI , Ga , ln 3+ , Tl 3+ , Si 4+ , Si 2+ , Ge 4+ , Ge 2+ , Sn 4+ , Sn 2+ , Pb 4+ , Pb 2+ , As 5+ , As 3+ , As + , Sb 5+ , Sb 3+ , Sb + , Bi 5+ , Bi 3+ und Bi + . Dabei entspricht n der Wertigkeit des Metalls.
Ebenfalls einsetzbar sind z.B. hydrolysierbare Verbindungen von Elementen der Hauptgruppen I und II des Periodensystems (z.B. Na, K, Ca und Mg) und der Nebengruppen V bis VIII des Periodensystems (z.B. Mn, Cr, Fe und Ni) . Auch hydrolysierbare Verbin ¬ dungen der Lanthanoide wie Ce können verwendet werden. Bevorzugt sind Metallverbindungen, wobei M gleich AI, B, Sn, Fe, Ti, Zr, V oder Zn ist, bevorzugt AI, Fe, Ti oder Zr, wobei Ti be- sonders bevorzugt ist. Es können auch Mischungen mehrere Me ¬ tallverbindungen eingesetzt werden. X ein hydrolysierbarer Rest ist, welcher bevorzugt wie in Formel (I) definiert ist, wobei zwei Gruppen X durch eine Oxogrup- pe ersetzt sein können. Bevorzugte Metallverbindungen sind z. B. die Alkoxide oder Ha ¬ logenide von B, AI, Zr und insbesondere Ti. Geeignete hydroly- sierbare Metallverbindungen sind z. B. Al(OCH 3 )3, Al(OC 2 H 5 )3, AI (0-n-C 3 H 7 ) 3 , AI (0-i-C 3 H 5 ) 3 , AI (0-n-C 4 H 9 ) 3 , AI (O-sek . -C 4 H 9 ) 3 ) A1C1 3 , A1C1(0H) 2 , AI (OC2H4OC4H9) 3, TiCl 4 , Ti(OC 2 H 5 ) 4 , Ti (0-n-C 3 H 7 ) 4, Ti (O-1-C3H7) 4, Ti(OC 4 H 9 ) 4 , Ti (2-ethylhexoxy) 4, ZrCl 4 , Zr(OC 2 H 5 ) 4 , Zr (0-n-C 3 H 7 ) 4, Zr (O-1-C3H7) 4, Zr(OC 4 H 9 ) 4 , ZrOCl 2 , Zr(2- ethylhexoxy) 4, sowie Zr- oder Ti-Verbindungen, die komplexieren- de Reste aufweisen, wie z.B. ß-Diketon und (Meth) acrylreste, Borsäure, BC1 3 , B(OCH 3 ) 3 , B(OC 2 H 5 ) 3 , SnCl 4 , Sn(OCH 3 ) 4 , Sn(OC 2 H 5 ) 4 , V0C1 3 und VO(OCH 3 ) 3 . Die Metallverbindungen können auch teilweise oder vollständig hydrolysiert vorliegen, z.B. TiOCl 2 . Dies kann dadurch erreicht werden, dass diese Verbindungen vor der Zugabe zu der Zusammensetzung mit Wasser umgesetzt werden, bevorzugt mit einem Überschuss an Wasser z.B. im 2 bis 10 fachen Überschuss gemessen an den hydrolysierbaren Gruppen der Verbindung, d.h. 2 bis 10 mol Wasser pro mol hydrolysierbarer Gruppe. Die Hydrolyse kann aber auch mit stöchiometrischen oder unter- stöchiometrischen Mengen an Wasser erfolgen. Als funktionelle Gruppen der mindestens einen organischen Verbindung, über die die genannten koordinativen Bindungen ausgebildet werden können, sind insbesondere beispielsweise folgende funktionellen Gruppen zu nennen: -C0 2 H, -NH 2 , -OH, -SH, -CS 2 H, - N0 2 , -B(OH) 2 , -S0 3 H, -Ge(OH) 3 , -Sn(OH) 3 , -Si(SH) 4 , -Ge(SH) 4 , - Sn(SH) 3 , -P0 3 H, -As0 3 H, -As0 4 H, -P(SH) 3 , -As(SH) 3 , -CH(RSH) 2 , -
C(RSH) 3 , -CH(RNH 2 ) 2 , -C(RNH 2 ) 3 , -CH(ROH) 2 , -C(ROH) 3 , -CH(RCN) 2 , - C (RCN) 3 wobei R beispielsweise bevorzugt eine Alkylengruppe mit 1, 2, 3, 4 oder 5 Kohlenstoffatomen wie beispielsweise eine Me ¬ thylen-, Ethylen-, n-Propylen-, i-Propylen, n-Butylen-, i- Butylen-, tert-Butylen- oder n-Pentylengruppe, oder eine A- rylgruppe, enthaltend 1 oder 2 aromatische Kerne wie beispiels ¬ weise 2 C6~Ringe, die gegebenenfalls kondensiert sein können und unabhängig voneinander mit mindestens jeweils einem Substituen- ten geeignet substituiert sein können, und/oder die unabhängig voneinander jeweils mindestens ein Heteroatom wie beispielswei ¬ se N, 0 und/oder S enthalten können. Gemäß ebenfalls bevorzug ¬ ten Ausführungsformen sind funktionelle Gruppen zu nennen, bei denen der oben genannte Rest R nicht vorhanden ist. Diesbezüg- lieh sind unter anderem -CH(SH) 2 , -C(SH) 3 , -CH(NH 2 ) 2 , -C(NH 2 ) 3 , - CH(OH) 2 , -C(OH) 3 , -CH(CN) 2 oder -C(CN) 3 zu nennen.
Bevorzugte Gruppen sind Aminogruppe, Carbonsäuregruppen, Hydro ¬ xylgruppen und Thiole oder Vorstufen solcher Gruppen, wobei Carbonsäuren bevorzugt sind.
Vorstufen für Carbonsäuregruppen sind beispielsweise Anhydridgruppen, Ester oder Amide. Die Verbindung kann auch mehrere verschiedene solcher Gruppen und/oder Vorstufen enthalten.
Die mindestens zwei funktionellen Gruppen können grundsätzlich an jede geeignete organische Verbindung gebunden sein, solange gewährleistet ist, dass die diese funktionellen Gruppen aufwei ¬ sende organische Verbindung zur Ausbildung der koordinativen Bindung und zur Herstellung des Gerüstmaterials befähigt ist, d.h. zur koordinativen Bindung zu mindestens einer Metallverbindungen und/oder mindestens einer Silanverbindung .
Bevorzugt leiten sich die organischen Verbindungen, die die mindestens zwei funktionellen Gruppen enthalten, von einer gesättigten oder ungesättigten aliphatischen Verbindung oder einer aromatischen Verbindung oder einer sowohl aliphatischen als auch aromatischen Verbindung ab. Die aliphatische Verbindung oder der aliphatische Teil der so ¬ wohl aliphatischen als auch aromatischen Verbindung kann linear und/oder verzweigt und/oder cyclisch sein, wobei auch mehrere Cyclen pro Verbindung möglich sind. Weiter bevorzugt enthält die aliphatische Verbindung oder der aliphatische Teil der so ¬ wohl aliphatischen als auch aromatischen Verbindung 1 bis 15, weiter bevorzugt 1 bis 14, weiter bevorzugt 1 bis 13, weiter bevorzugt 1 bis 12, weiter bevorzugt 1 bis 11 und insbesondere bevorzugt 1 bis 10 C-Atome wie beispielsweise 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 oder 10 C-Atome. Insbesondere bevorzugt sind hierbei unter anderem Methan, Adamantan, Acetylen, Ethylen oder Butadien .
Die aromatische Verbindung oder der aromatische Teil der sowohl aromatischen als auch aliphatischen Verbindung kann einen oder auch mehrere Kerne wie beispielsweise zwei, drei, vier oder fünf Kerne aufweisen, wobei die Kerne getrennt voneinander und/oder mindestens zwei Kerne in kondensierter Form vorliegen können. Besonders bevorzugt weist die aromatische Verbindung oder der aromatische Teil der sowohl aliphatischen als auch aromatischen Verbindung einen, zwei oder drei Kerne auf, wobei einer oder zwei Kerne besonders bevorzugt sind. Unabhängig von ¬ einander kann weiter jeder Kern der genannten Verbindung mindestens ein Heteroatom wie beispielsweise N, 0, S, B, P, Si, AI, bevorzugt N, 0 und/oder S enthalten. Weiter bevorzugt enthält die aromatische Verbindung oder der aromatische Teil der sowohl aromatischen als auch aliphatischen Verbindung einen o- der zwei C6~Kerne, wobei die zwei entweder getrennt voneinander öder in kondensierter Form vorliegen. Insbesondere sind als aromatische Verbindungen Benzol, Naphthalin und/oder Biphenyl und/oder Bipyridyl und/oder Pyridyl zu nennen.
Beispielsweise sind unter anderem trans-Muconsäure oder Fumar ¬ säure oder Phenylenbisacrylsäure zu nennen. Beispielsweise sind im Rahmen der vorliegenden Erfindung Dicar- bonsäuren wie etwa Oxalsäure, Bernsteinsäure, Weinsäure, 1,4- Butandicarbonsäure, 4-Oxo-Pyran-2 , 6-dicarbonsäure, 1,6- Hexandicarbonsäure, Decandicarbonsäure, 1,8-
Heptadecandicarbonsäure, 1 , 9-Heptadecandicarbonsäure, Heptade- candicarbonsäure, Acetylendicarbonsäure, 1,2- Benzoldicarbonsäure, 2 , 3-Pyridindicarbonsäure, Pyridin-2,3- dicarbonsäure, 1 , 3-Butadien-l , 4-dicarbonsäure, 1,4- Benzoldicarbonsäure, p-Benzoldicarbonsäure, Imidazol-2 , 4- dicarbonsäure, 2-Methyl-chinolin-3, 4-dicarbonsäure, Chinolin- 2 , 4-dicarbonsäure, Chinoxalin-2 , 3-dicarbonsäure, 6- Chlorchinoxalin-2 , 3-dicarbonsäure, 4,4' -Diaminphenylmethan- 3, 3 ' -dicarbonsäure, Chinolin-3, 4-dicarbonsäure, 7-Chlor-4- hydroxychinolin-2 , 8-dicarbonsäure, Diimiddicarbonsäure, Pyri- din-2 , 6-dicarbonsäure, 2-Methylimidazol-4 , 5-dicarbonsäure, Thi- ophen-3, 4-dicarbonsäure, 2-Isopropylimidazol-4 , 5-dicarbonsäure, Tetrahydropyran-4 , 4-dicarbonsäure, Perylen-3, 9-dicarbonsäure, Perylendicarbonsäure, Pluriol E 200-dicarbonsäure, 3, 6- Dioxaoctandicarbonsäure, 3, 5-Cyclohexadien-l , 2-dicarbonsäure, Octadicarbonsäure, Pentan-3, 3-carbonsäure, 4 , 4 ' -Diamino-1 , 1 ' - diphenyl-3, 3 ' -dicarbon-säure, 4,4' -Diaminodiphenyl-3 , 3 ' - dicarbonsäure, Benzidin-3, 3 ' -dicarbonsäure, 1,4-Bis- (phenylamino) -benzol-2, 5-dicarbonsäure, 1,1'- Dinaphthyldicarbonsäure, 7-Chlor-8-methylchinolin-2 , 3- dicarbonsäure, l-Anilinoanthrachinon-2 , 4 ' -dicarbonsäure, Poly- tetrahydrofuran-250-dicarbonsäure, 1, 4-Bis- (carboxymethyl) - piperazin-2, 3-dicarbonsäure, 7-Chlorchinolin-3, 8-dicarbonsäure, 1- (4-Carboxy) -phenyl-3- (4-chlor) -phenylpyrazolin-4 , 5- dicarbonsäure, 1, 4, 5, 6, 7, 7, -Hexachlor-5-norbornen-2 , 3- dicarbonsäure, Phenylindandicarbonsäure, 1 , 3-Dibenzyl-2-oxo- imidazolidin-4 , 5-dicarbonsäure, 1, 4-Cyclohexandicarbonsäure, Naphthalin-1 , 8-dicarbonsäure, 2-Benzoylbenzol-l , 3-dicarbon ¬ säure, 1, 3-Dibenzyl-2-oxoimidazolidin-4 , 5-cis-dicarbonsäure, 2,2' -Bichinolin-4 , 4 ' -di-carbonsäure, Pyridin-3, 4-dicarbonsäure, 3, 6, 9-Trioxaundecandicarbonsäure, Hydroxybenzophenondicarbon- säure, Pluriol E 300-dicarbonsäure, Pluriol E 400- dicarbonsäure, Pluriol E 600-dicarbonsäure, Pyrazol-3,4- dicarbonsäure, 2 , 3-Pyrazindicarbonsäure, 5 , 6-Dimethyl-2 , 3- pyrazindicarbonsäure, 4,4'-
Diaminodiphenyletherdiimiddicarbonsäure, 4,4'- Diaminodiphenylmethandiimiddicarbonsäure, 4,4'- Diaminodiphenylsulfondiimiddicarbonsäure, 2, 6- Naphthalindicarbonsäure, 1 , 3-Adamantandicarbonsäure, 1,8- Naphthalindicarbonsäure, 2 , 3-Naphthalindicarbonsäure, 8- Methoxy-2, 3-naphthalindicarbonsäure, 8-Nitro-2, 3- naphthalincarbonsäure, 8-Sulfo-2, 3-naphthalindicarbonsäure, Anthracen-2, 3-dicarbonsaure, 2 ' , 3 ' -Diphenyl-p-terphenyl-4 , 4 ' ' - dicarbonsäure, Diphenylether-4 , 4 ' -dicarbonsäure, Imidazol-4 , 5- dicarbonsäure, 4- ( 1H) -Oxothiochromen-2 , 8-dicarbonsäure, 5-tert- Butyl-1 , 3-benzoldicarbonsäure, 7 , 8-Chinolindicarbonsäure, 4,5- Imidazoldicarbonsäure, 4-Cyclohexen-l , 2-dicarbonsäure, Hexatri- acontandicarbonsäure, Tetradecandicarbonsäure, 1,7- Heptadicarbonsäure, 5-Hydroxy-l , 3-Benzoldicarbonsäure, Pyrazin- 2 , 3-dicarbonsäure, Furan-2 , 5-dicarbonsäure, l-Nonen-6, 9- dicarbonsäure, Eicosendicarbonsäure, 4,4'-
Dihydroxydiphenylmethan-3 , 3 ' -dicarbonsäure, l-Amino-4-methyl- 9, 10-dioxo-9, 10-dihydroanthracen-2, 3-dicarbonsäure, 2, 5- Pyridindicarbonsäure, Cyclohexen-2 , 3-dicarbonsäure, 2 , 9-
Dichlorfluorubin-4 , 11-dicarbonsäure, 7-Chlor-3-methylchinolin- 6, 8-dicarbonsäure, 2, 4-Dichlorbenzophenon-2 ' , 5 ' -dicarbonsäure, 1 , 3-Benzoldicarbonsäure, 2 , 6-Pyridindicarbonsäure, 1- Methylpyrrol-3 , 4-dicarbonsäure, l-Benzyl-lH-pyrrol-3, 4- dicarbonsäure, Anthrachinon-1 , 5-dicarbonsäure, 3,5-
Pyrazoldicarbonsäure, 2-Nitrobenzol-l , 4-dicarbonsäure, Heptan- 1 , 7-dicarbonsäure, Cyclobutan-1 , 1-dicarbonsäure 1,14- Tetradecandicarbonsäure, 5, 6-Dehydronorbornan-2 , 3-dicarbonsäure oder 5-Ethyl-2 , 3-pyridindicarbonsäure, Tricarbonsäuren wie etwa 2-Hydroxy-l, 2, 3-propantricarbonsäure, 7-Chlor-2, 3, 8- chinolintricarbonsäure, 1 , 2 , 4-Benzoltricarbonsäure, 1,2,4- Butantricarbonsäure, 2-Phosphono-l , 2, 4-butantricarbonsäure, 1, 3, 5-Benzoltricarbonsäure, 1-Hydroxy-l, 2, 3- Propantricarbonsäure, 4, 5-Dihydro-4, 5-dioxo-lH-pyrrolo [2, 3- F] chinolin-2, 7, 9-tricarbonsäure, 5-Acetyl-3-amino- 6- methyibenzol-1 , 2, 4-tricarbonsäure, 3-Amino-5-benzoyl- 6- methylbenzol-1 , 2, 4-tricarbonsäure, 1,2, 3-Propantricarbonsäure oder Aurintricarbonsäure oder Tetracarbonsäuren wie etwa 1,1- Dioxidperylo [1, 12-BCD] thiophen-3, 4, 9, 10-tetracarbonsäure, Pery- lentetracarbonsäuren wie Perylen-3, 4, 9, 10-tetracarbonsäure oder Perylen-1, 12-sulfon-3, 4, 9, 10-tetracarbonsäure, Butantetracar ¬ bonsäuren wie 1, 2, 3, 4-Butantetracarbonsäure oder Meso-1, 2, 3, 4- Butantetracarbonsäure, Decan-2, 4, 6, 8-tetracarbonsäure,
1,4,7,10,13, 16-Hexaoxacyclooctadecan-2 , 3, 11, 12- tetracarbonsäure, 1 , 2 , 4 , 5-Benzoltetracarbonsäure, 1,2,11,12- Dodecantetracarbonsäure, 1,2,5, 6-Hexan-tetracarbonsäure,
1, 2, 7, 8-Octantetracarbonsäure, 1, 4, 5, 8-
Naphthalintetracarbonsäure, 1,2,9, 10-Decantetracarbonsäure, Benzophenontetracarbonsäure, 3 , 3 ' , 4 , 4 ' -Benzo- phenontetracarbonsäure, Tetrahydrofurantetracarbonsäure oder Cyclopentantetracarbonsäuren wie Cyclopentan-1, 2, 3, 4- tetracarbonsäure zu nennen. Ganz besonders bevorzugt werden gegebenenfalls mindestens ein ¬ fach substituierte mono-, di-, tri-, tetra- oder höherkernige aromatische Di-, Tri- oder Tetracarbonsäuren eingesetzt, wobei jeder der Kerne mindestens ein Heteroatom enthalten kann, wobei zwei oder mehr Kerne gleiche oder unterschiedliche Heteroatome enthalten kann. Beispielsweise bevorzugt werden monokernige Di- carbonsäuren, monokernige Tricarbonsäuren, monokernige Tetracarbonsäuren, dikernige Dicarbonsäuren, dikernige Tricarbonsäu ¬ ren, dikernige Tetracarbonsäuren, trikernige Dicarbonsäuren, trikernige Tricarbonsäuren, trikernige Tetracarbonsäuren, tet- rakernige Dicarbonsäuren, tetrakernige Tricarbonsäuren und/oder tetrakernige Tetracarbonsäuren. Geeignete Heteroatome sind bei ¬ spielsweise N, 0, S, B, P, Si, AI, bevorzugte Heteroatome sind hierbei N, S und/oder 0. Als geeigneter Substituent ist diesbe- züglich unter anderem -OH, eine Nitrogruppe, eine Aminogruppe oder eine Alkyl- oder Alkoxygruppe zu nennen.
Insbesondere bevorzugt werden als mindestens zweizähnige orga ¬ nische Verbindungen Acetylendicarbonsäure (ADC) , Benzoldicar- bonsäuren, Naphthalindicarbonsäuren, Biphenyldicarbonsäuren wie beispielsweise 4 , 4 ' -Biphenyldicarbonsäure (BPDC) , Bipyridindi- carbonsäuren wie beispielsweise 2 , 2 ' -Bipyridindicarbonsäuren wie beispielsweise 2, 2 ' -Bipyridin-5, 5 ' -dicarbonsäure, Ben- zoltricarbonsäuren wie beispielsweise 1,2,3- Benzoltricarbonsäure oder 1 , 3 , 5-Benzoltricarbonsäure (BTC) , 1, 3, 5, 7-Adamantantetracarbonsäure (ATC) , Adamantandibenzoat (ADB) Benzoltribenzoat (BTB) , Methantetrabenzoat (MTB) , Adaman- tantetrabenzoat , 1 , 2 , 4 , 5-Benzoltetracarbonsäure oder Dihydroxy- terephthalsäuren wie beispielsweise 2,5- Dihydroxyterephthalsäure (DHBDC) , 1,2,4,5-
Benzoltetracarbonsäure- (= Pyromellitsäure) , 3,3'-4,4'- Biphenyltetracarbonsäure, 3, 3 ' -4, 4 ' -Benzophenontetracarbonsäure (= 3, 3 ' -4, 4 ' -Benzoylbenzoltetracarbonsäure) , 3,3'-4,4'- Isopropylidendiphthalsäure, 3 , 3 ' -4 , 4 ' -Oxydiphthalsäure und (He- xafluoroisopropyliden) diphthalsäure eingesetzt.
Ganz besonders bevorzugt werden unter anderem Isophthalsäure, Terephthalsäure, 2 , 5-Dihydroxyterephthalsäure, 1,2,3- Benzoltricarbonsäure, 1, 3, 5-Benzoltricarbonsäure, 1,2,4,5- Benzoltetracarbonsäure oder 2 , 2 ' -Bipyridin-5 , 5 ' -dicarbonsäure eingesetzt .
Neben den vorstehend genannten Verbindungen können auch Vorstufen oder Varianten dieser Säuren eingesetzt werden wie z. B. ihre Anhydride, Ester oder Amide. Falls Lösungsmittel mit Hyd ¬ roxylgruppen eingesetzt werden, wie z.B. niedere Alkohole wie Methanol, Ethanol, Isopropanol oder tert . -Butanol , können sich auch in der Zusammensetzung die entsprechenden Ester bilden. Bei dem Einsatz von Anhydriden kann über die Zugabe von Wasser die Anzahl der freien Säuregruppen eingestellt werden. Die Anhydride sind insbesondere dann bevorzugt, wenn die in der orga ¬ nischen Verbindung vorhandenen Carbonsäuregruppen innerhalb der Verbindung ein cyclisches Anhydrid bilden können. Für die be- sonders bevorzugten Verbindungen ist ein solches korrespondie ¬ rendes Anhydrid 1, 2, 4, 5-Benzoltetracarboxyl-l, 2 : 4, 5-Dianhydrid.
Neben diesen mindestens zweizähnigen organischen Verbindungen kann der MOF auch eine oder mehrere einzähnige Liganden umfas- sen.
Geeignete Lösemittel zur Herstellung der MOF sind u.a. Wasser, Alkohole, vorzugsweise niedere aliphatische Alkohole (Ci-Cs- Alkohole) , wie Methanol, Ethanol, 1-Propanol, Isopropanol und 1-Butanol, Ketone, vorzugsweise niedere Dialkylketone, wie Ace ¬ ton und Methylisobutylketon, Ether, vorzugsweise niedere Dial- kylether, wie Diethylether , oder Monoether von Diolen, wie Ethylenglycol oder Propylenglycol , mit Ci-C6-Alkoholen, Amide, wie Dimethylformamid, Tetrahydrofuran, Dioxan, Sulfoxide wie Dimethylsulfoxid, Sulfone, Acetonitril oder Butylglycol und de ¬ ren Gemische. Bevorzugt werden Wasser und Alkohole verwendet. Es können auch hochsiedende Lösungsmittel eingesetzt werden, z.B. Polyether wie Triethylenglycol , Diethylenglycoldiethyl- ether und Tetraethylenglycoldimethylether . In manchen Fällen finden auch andere Lösungsmittel Verwendung, z.B. Leichtparaf ¬ fine ( Petrolether , Alkane und Cycloalkane) , Aromaten, Toluol, Heteroaromaten und halogenierte Kohlenwasserstoffe wie Chlor ¬ benzol. Anwendung können auch Dicarbonsäureester wie Bernstein- säuredimethylester , Adipinsäuredimethylester , Glutarsäuredime- thylester und deren Mischungen sowie die cyclische Carbonsäu ¬ reester wie z.B. Propylencarbonat und Glycerincarbonat Verwen ¬ dung finden. Bevorzugte Lösungsmittel sind Alkohole und Ether, besonders be ¬ vorzugt niedere aliphatische Alkohole wie Methanol, Ethanol, 1- Propanol, Isopropanol und 1-Butanol sowie Ethylenglykol oder Tetrahydrofuran . Bevorzugt sind Tetrahydrofuran oder eine Mischung aus Isopropanol und 1-Butanol, besonders bevorzugt im Verhältnis 10:1 bis 1:10, ganz besonders bevorzugt 2:1 bis 1:2.
Es ist wichtig, dass das gebildete Koordinationspolymer in der erhaltenen Zusammensetzung gelöst ist. Es kann erforderlich sein, die Zusammensetzung vor dem Auftragen zu zentrifugieren oder zu filtrieren. Insofern sind Koordinationspolymere bevor ¬ zugt, welche in dem gewählten Lösungsmittel löslich sind.
Gleichzeitig ist es möglich, durch die Wahl des Lösungsmittels die Struktur des erhaltenen Koordinationspolymers zu beeinflus- sen.
Durch die Selbstorganisation des Koordinationspolymers ist das Verhältnis von Silanverbindung und Metallverbindung zu der organischen Verbindung in weiten Bereichen variabel. Es kann bei- spielsweise zwischen 100:1 und 1:100 gemessen in mmol von Sili ¬ zium zu Metallion liegen. Üblicherweise werden die Silanverbin- dungen und Metallverbindungen im Überschuss zu der organischen Verbindung eingesetzt, bevorzugt im Verhältnis von 100:1 zu 1:1 gemessen in mmol (Summe von Silizium und Metallionen im Ver- hältnis zur organischen Verbindung), bevorzugt zwischen 50:1 zu 1:1. Das Verhältnis kann davon abhängig sein, wie viele koordi- native Bindungen die organische Verbindung ausbilden kann, bzw. wie viele verschiedene Metall- oder Siliziumzentren die organi ¬ sche Verbindung mindestens eine koordinative Bindung ausbilden kann. Das Verhältnis beträgt dabei bevorzugt mindestens n:l, wenn n koordinative Bindungen ausgebildet werden können. Es be ¬ trägt dann bevorzugt zwischen 50 :n und n:l, bevorzugt zwischen 10 :n und n:l. Wenn die organische Verbindung beispielsweise zu zwei Metallionen koordinative Bindungen aufzubauen ist das bevorzugte molare Verhältnis zwischen 50:1 und 2:1, bevorzugt zwischen 30:1 und 2:1, besonders bevorzugt zwischen 10:1 und 2:1.
Eine weitere wichtige Größe ist das Verhältnis zwischen der Silanverbindung und der Metallverbindung. Durch den Aufbau des Koordinationspolymers ist es möglich im Gegensatz zu den reinen auf Silanen basierenden Antireflexionsbeschichtungen einen ho- hen Gehalt an Metallverbindung in die Struktur des entstehenden S1O 2 zu integrieren, ohne dass die Transmission der erhaltenen Beschichtung signifikant schlechter wird. Gemessen im mmol liegt das Verhältnis zwischen Silizium in der Silanverbindung und dem Metallion in der Metallverbindung bevorzugt zwischen 100:1 und 1:2, besonders bevorzugt zwischen 100:1 und 1:1, ganz besonders bevorzugt zwischen 50:1 und 1:1. Es kann auch zwi ¬ schen 30:1 und 1:1 oder 20:1 und 1:1 liegen.
Durch den hohen Gehalt an Metallverbindung kann nicht nur der Brechungsindex der Antireflexionsschicht beeinflusst werden. Die Metallverbindung kann der Beschichtung auch noch weitere Eigenschaften, wie erhöhte Härte verleihen.
In einer bevorzugten Weiterbildung ist die Metallverbindung ei- ne Titanverbindung. Dadurch enthält die Antireflexionsschicht einen Anteil Titandioxid, welches photokatalytische Eigenschaf ¬ ten aufweist. Dadurch können der Antireflexionsbeschichtung auch selbstreinigende Eigenschaften verliehen werden. Dabei bilden sich keine separaten Titandioxidpartikel, sondern das Titandioxid wird aufgrund des Koordinationspolymers in die Struktur integriert.
Der Gehalt an Lösungsmittel kann in Abhängigkeit von der weite- ren Verarbeitung der Zusammensetzung variieren. In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung liegt der Gehalt an Silan- verbindung (en) und Metallverbindung (en) in der Zusammensetzung zwischen 0,001 mol/1 und 10 mol/1, bevorzugt zwischen 0,01 mol/1 und 1 mol/1, besonders bevorzugt zwischen 0,1 und 0,8 mol/1.
In Abhängigkeit von der weiteren Verwendung der Zusammensetzung liegt der Feststoffgehalt der Zusammensetzung vor dem Auftragen auf ein Substrat bevorzugt zwischen 1 und 20 Gew.-%, besonders bevorzugt zwischen 2 und 5 Gew.-%.
Die Zusammensetzung kann noch weitere Bestandteile enthalten. Dies können für optische Systeme übliche Additive sein. Bei ¬ spiele sind Weichmacher, Sensibilisierungsmittel, Netzhilfsmit- tel, Haftvermittler, Verlaufsmittel, Antioxidationsmittel , Sta ¬ bilisatoren, Farbstoffe und photochrome oder thermochrome Ver ¬ bindungen .
In einer Weiterbildung der Erfindung kann die Zusammensetzung noch weitere optisch aktive Substanzen, z.B. zur Beeinflussung des Brechwerts, enthalten. So ist es beispielsweise möglich noch weitere Nanopartikel mit einem Durchmesser von unter 500 nm (gemessen mit TEM) zuzugeben. Dies können beispielsweise S1O 2 , ZrÜ 2 und/oder Ti0 2 -Partikel sein.
Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Herstellung einer AntireflexionsbeSchichtung . Im Folgenden werden einzelne Verfahrensschritte näher beschrie ¬ ben. Die Schritte müssen nicht notwendigerweise in der angege ¬ benen Reihenfolge durchgeführt werden, und das zu schildernde Verfahren kann auch weitere, nicht genannte Schritte aufweisen.
In einem ersten Schritt wird dabei eine vorstehend beschriebene Zusammensetzung hergestellt. Es kann notwendig sein, die Visko ¬ sität und Konzentration der Zusammensetzung an das verwendete Beschichtungsverfahren anzupassen .
In einem nächsten Schritt wird die Zusammensetzung auf ein Substrat aufgetragen. Die Beschichtung kann nach üblichen Methoden erfolgen, z. B. durch Tauchen, Fluten, Rakeln, Gießen, Schleudern, Spritzen, Aufstreichen, Slot-Coating, Meniskus-Coating, Foliengießen, Spinnen oder Sprühen. Die erforderliche Viskosität kann dabei durch Zugabe oder Entfernen von Lösungsmittel eingestellt werden. Bevorzugte Schichtdicken (im gehärteten Zustand) liegen bei 0,01 bis 1 ym. Bevorzugt wird die Auftrags ¬ menge in Abhängigkeit von der gewünschten Brechzahl und dem An- wendungsbereich im allgemeinen so gewählt, dass Schichtdicken im Bereich von 50 bis 200 nm, vorzugsweise 100 bis 150 nm, er ¬ zielt werden.
Für die Beschichtung werden vorzugsweise für optische Anwendun- gen geeignete Substrate ausgewählt, wie beispielsweise Glas, Keramik, Silicium, Metall, Halbleiter-Materialien oder (vorzugsweise transparente) Kunststoffe, wie PET, PE und PP, soweit diese für die thermische Behandlung geeignet sind. Es sind auch kristalline Materialien möglich. Dabei kann jedes bekannte kristalline Material eingesetzt werden, das für den jeweiligen Zweck geeignet ist. Beispiele für bevorzugte kris ¬ talline Substrate sind Substrate aus Silizium, Lithiumniobat , Lithiumtantalat , Quarz, Saphir, anderen Edelsteinen oder Halb- edelsteinen und anderen optischen Kristallen, kristallinen Detektoren, z. B. für elektromagnetische Strahlung, wie PbS oder Selen, und optischen Filtern (UV, IR, NIR und VIS) , wobei von den kristallinen Substraten Saphir besonders bevorzugt ist. Bei dem kristallinen Substrat handelt es sich bevorzugt um ein transparentes Substrat. Das Substrat kann z. B. auch als Ober ¬ flächenschicht auf einem Träger aus einem anderen Material vor ¬ liegen . Das Substrat kann jede gewünschte Gestalt haben. Es kann z. B. plan oder gewölbt, z. B. konkav oder konvex, sein. Das Substrat kann auf einer Seite oder auf beiden Seiten mit einem optischen Mehrschichtsystem versehen sein. Das Substrat kann z. B. in Form einer rechtwinkligen oder runden Scheibe oder einer Linse oder irgendeiner anderen Form vorliegen. In einer bevorzugten Ausführungsform handelt es sich bei dem Substrat um einen
Wafer, einen Bildschirm, ein Instrumenten-Deckglas , einen kristallinen Detektor, ein optisches Filter oder ein Uhrglas aus einem kristallinen Material. Bei manchen Einsatzgebieten ist im Handel oder in der Technik für einige Ausführungsformen die Bezeichnung "Gläser" für verwendete kristalline Substrate üblich, z. B. wenn auch echte Gläser für die Anwendung verwendet werden können . In dem nächsten Schritt wird die aufgetragene Zusammensetzung thermisch behandelt. Dabei wird die Beschichtung bevorzugt auf Temperaturen von 400 bis 800 °C, vorzugsweise 400 bis 600 °C und insbesondere 400 bis 500 °C, aufgeheizt und beispielsweise 1 Minute bis 1 Stunde bei dieser Temperatur gehalten. Hierbei erfolgt ein vollständiges Ausbrennen der organischen (kohlenstoffhaltigen) Bestandteile. Auf diese Weise wird eine anorga ¬ nische Antireflexionsschicht erhalten. Das Verfahren ermöglicht es insbesondere schon in einem
Schritt, d.h. mit nur einer einlagigen Beschichtung, eine wirksame Antireflexionsschicht mit einer Transmission von über 94 %, bevorzugt über 98 % zu erhalten.
Die durch das Verfahren hergestellten Schichten weisen eine Schichtdicke zwischen 0,01 bis 1 ym auf, bevorzugt im Bereich von 50 bis 200 nm, besonders bevorzugt 100 bis 150 nm. Sie enthalten außerdem Siliziumdioxid und mindestens ein Me ¬ talloxid entsprechend den für die Zusammensetzung angegebenen Verhältnissen. Die Metalloxide sind Metalloxide der Verbindun ¬ gen, welche für die Zusammensetzung beschrieben wurden. Bezogen auf die molaren Verhältnisse von Si im Siliziumdioxid und Metallion im Metalloxid, weisen die erhaltenen Beschichtungen einen besonders hohen Anteil an Metalloxid bei Beibehaltung der Antireflexionseigenschaften auf. Das molare Verhältnis liegt bevorzugt zwischen 100:1 und 1:2, besonders bevorzugt zwischen 100:1 und 1:1, ganz besonders bevorzugt zwischen 50:1 und 1:1. Es kann auch zwischen 30:1 und 1:1 oder 20:1 und 1:1 liegen .
Die erhaltenen Schichten zeichnen sich insbesondere durch ihre gleichmäßige Porosität aus. Diese kann, wie beschrieben, durch die Wahl der organischen Verbindung gesteuert werden. Dadurch werden Beschichtungen mit einer nur geringen Variation des Brechungsindex erhalten.
Die Oberfläche kann auch durch ihre BET-Oberfläche charakterisiert werden. Die erfindungsgemäßen optischen Beschichtungen sind z. B. als Interferenz- und Antireflexsysteme für folgende Anwendungen ge ¬ eignet : Optische Filter: Antireflex- und Reflexfilter im Bereich der Brillenindustrie, Displays, Bildschirme, Halbleiterlaser, Mik- rolinsen-Beschichtung, Solarzellen, "Damage-Resistant "- Laserschichten, Bandpassfilter, Antireflexionsfilter, Absorptionsfilter und Strahlteiler.
Holographische Schichten: Lichtlenksysteme, Informationsspei- cherung, Laserkoppler, Wellenleiter, Dekoration und Architektur . Prägbare Schichten: Entspiegelungssysteme, Fokussierung in De ¬ tektorfeldern, Beleuchtung von Flachbildschirmen, Bildgebung in Fotokopierern, Faseroptiken (Lichteinkopplung) .
Lithographie: Herstellung von mikrooptischen Elementen wie Wel- lenleitern, Gittern, Pinholes, Beugungsgittern (Punktgittern) sowie im Bereich Displaytechnik, Faserchip-Kopplung und abbildende Optik.
Es sind aber auch Beschichtungen für solare Anwendungen, wie Solarkollektoren oder Solarzellen möglich.
Weitere Einzelheiten und Merkmale ergeben sich aus der nachfol ¬ genden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen in Verbindung mit den Unteransprüchen. Hierbei können die jeweili- gen Merkmale für sich alleine oder zu mehreren in Kombination miteinander verwirklicht sein. Die Möglichkeiten, die Aufgabe zu lösen, sind nicht auf die Ausführungsbeispiele beschränkt. So umfassen beispielsweise Bereichsangaben stets alle - nicht genannten - Zwischenwerte und alle denkbaren Teilintervalle. Fig. 1 Transmissionsspektren der Proben der Beispiele 5, 6 und 7 im sichtbaren Bereich. Als Vergleich wurde ein unbeschichteter Glasträger vermessen;
Fig. 2 Reflexionsspektren der Proben der Beispiele 5, 6 und 7 im sichtbaren Bereich;
Fig. 3 Transmissionsspektren der Proben der Beispiele 8 bis
11. Als Vergleich wurde ein unbeschichteter Glasträger vermessen;
Fig. 4 Lichtmikroskopische Aufnahme der Oberfläche von Bei ¬ spiel 5 nach einem Kratzfestigkeitstest mit einem Bleistift der Härte 1H;
Fig. 5 Lichtmikroskopische Aufnahme der Oberfläche von Bei ¬ spiel 6 nach einem Kratzfestigkeitstest mit einem Bleistift der Härte 8H;
Fig. 6 Lichtmikroskopische Aufnahme der Oberfläche von Bei ¬ spiel 7 nach einem Kratzfestigkeitstest mit einem Bleistift der Härte 8H;
Fig. 7 Lichtmikroskopische Aufnahme der untersuchten Fläche der Oberfläche von Beispiel 5 nach dem Klebeband Test;
Fig. 8 Lichtmikroskopische Aufnahme der untersuchten Fläche der Oberfläche von Beispiel 6 nach dem Klebeband Test;
Fig. 9 Lichtmikroskopische Aufnahme der untersuchten Fläche der Oberfläche von Beispiel 7 nach dem Klebeband Test; Fig. 10 REM-Aufnahme der Oberfläche von Beispiel 5 mit einer
Vergrößerung von 10.000x;
Fig. 11 REM-Aufnahme der Oberfläche von Beispiel 6 mit einer
Vergrößerung von 10.000x;
Fig. 12 REM-Aufnahme der Oberfläche von Beispiel 7 mit einer
Vergrößerung von 10.000x;
Fig. 13 REM-Aufnahme der Oberfläche von Beispiel 5 mit einer
Vergrößerung von 50.000x;
Fig. 14 REM-Aufnahme der Oberfläche von Beispiel 6 mit einer
Vergrößerung von 50.000x; Fig. 15 REM-Aufnahme der Oberfläche von Beispiel 7 mit einer
Vergrößerung von 50.000x;
Fig. 16 Untersuchung der photokatalytischen Aktivität der Be- schichtung aus Beispiel 11 anhand der Zersetzung von Methylviolett.
Material und Methoden Chemikalien
Pyromellitsäuredianhydrid (l,2,4,5-Benzoltetracarboxyl-l,2:4,5- Dianhydrid; Merck Suchardt OHG) ; Titan ( IV) chlorid (TiCl 4 ) (Fluka Analytical, Sigma-Aldrich Chemie GmbH) ; Tetraethoxysilan (TEOS ABCR GmbH & Co. KG); Tetrahydrofuran (THF Alfa-Aesar GmbH & Co KG); Isopropanol (iPrOH CWR International S.A.S.); n-Butanol (n-BuOH Merck Schuchardt OHG) . Als Wasser wurde ultrapures Was ¬ ser (Millipore) verwendet. Herstellung der Beschichtungen
Die hergestellten Beschichtungszusammensetzungen wurden auf Glassubstrate (Marienfeld) aufgetragen. Dazu wurde eine Tauch- beschichtungsmaschine (dip coating) verwendet. Die Beschichtun- gen wurden bei Geschwindigkeiten von 1, 2, 3, und 4 mm/s hergestellt. Danach wurden alle Beschichtungen bei 500 °C für 2 Stunden thermisch behandelt.
Beispiel 1
6, 67 ml T1CI 4 wurden zu 25 mL Wasser gegeben und für 30 Minuten gerührt .
Beispiel 2 2,73 g (12,5 mmol) Pyromellitsäuredianhydrid und 225 mg (12,5 mmol) Wasser wurden zu 50,0 ml einer Mischung von iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v; nach Volumen) und für 48 Stunden gerührt.
Beispiel 3
2,18 g (0,01 mol) Pyromellitsäuredianhydrid und 0,36 g (0,02 mol) Wasser wurden zu 22,5 ml THF gegeben und für 48 h gerührt.
Beispiel 4
2,73 g (12,5 mmol) Pyromellitsäuredianhydrid und 0,90 g (0,05 mol) Wasser wurden zu 50,0 ml einer Mischung aus iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) gegeben und für 48 h gerührt.
Beispiel 5
Zu 25,0 ml einer Mischung von iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) wurden unter Rühren 5,0 ml von Beispiel 2, 1,30 g (6,25 mmol) TEOS und 0,16 ml von Beispiel 1 gegeben und die Mischung wurde für 6 Stunden gerührt.
Beispiel 6
Zu 25,0 ml einer Mischung von iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) wurden unter Rühren 2,82 g von Beispiel 3, 1,30 g (6,25 mmol) TEOS und 0,16 ml von Beispiel 1 gegeben und die Mischung für 6 Stunden gerührt .
Beispiel 7 Zu Beispiel 4 wurden unter Rühren 6,50 g (31,3 mmol) TEOS und 0,8 ml von Beispiel 1 (zugetropft) gegeben und die Mischung für 6 Stunden gerührt.
Beispiel 8
Zu 50 mL von Beispiel 4 wurden unter Rühren 3,12 g (14,98 mmol) TEOS, 5.26 ml von Beispiel 1 (zugetropft) und 9,00 ml einer Mi- schung von iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) gegeben und die erhaltene Lösung wurde für 6 Stunden gerührt.
Beispiel 9 Zu 50 mL von Beispiel 4 wurden unter Rühren 3,73 g (17,90 mmol) TEOS, 4,10 ml von Beispiel 1 (zugetropft) und 9,00 ml einer Mi ¬ schung von iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) gegeben und die erhaltene Lösung wurde für 6 Stunden gerührt. Beispiel 10
Zu 50 mL von Beispiel 4 wurden unter Rühren 4,36 g (20,93 mmol) TEOS, 3,15 ml von Beispiel 1 (zugetropft) und 7,00 ml einer Mi ¬ schung von iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) gegeben und die erhaltene Lösung wurde für 6 Stunden gerührt.
Beispiel 11
Zu 50 mL von Beispiel 4 wurden unter Rühren 4,98 g (23,90 mmol) TEOS, 2,10 ml von Beispiel 1 (zugetropft) und 7,00 ml einer Mi ¬ schung aus iPrOH/ n-BuOH (1:1 v/v) gegeben und die erhaltene Lösung wurde für 6 Stunden gerührt. Die Lösungen aller Beispiele wurden vor der Verdünnung mit 0,2 ym Filtern filtriert.
Charakterisierung der Beschichtungen Optische Eigenschaften
Für alle hergestellten Beschichtungen war der antireflektive Effekt schon direkt durch Beobachtung mit dem Auge zu erkennen.
Sowohl Reflexions- als auch Transmissionsspektren wurden mit einem Carry 5000 Spektrometer gemessen. Die Transmissionsspektren und Reflexionsspektren der Beispiele 5 bis 7 sind in den Figuren 1 und 2 gezeigt.
Messung der mechanischen Stabilität Die Kratzfestigkeit der Beschichtungen wurde mit einem Blei- stift-Kratztest nach ASTM D3363 untersucht und mit einem Licht ¬ mikroskop überprüft. Unterschiedliche Bleistifthärten wurden zur Untersuchung der Kratzfestigkeit verwendet. Die Ergebnisse sind in den Figuren 4 bis 6 gezeigt.
Adhäsionsuntersuchungen
Die Adhäsionsqualität der Beschichtungen wurde mit einem Git ¬ terschnitt Test und durch Klebeband-Test gemäß ASTM D3359 un- tersucht. Die gemessenen Adhäsionswerte sind 5/5 (dies bedeutet 100 % Adhäsion beim Gitterschnitt Test und 100 % Adhäsion nach dem Klebeband-Test auf der geschnittenen Testfläche) für die Beispiele 6 und 7 sowie 4/4 für Beispiel 5. Die Testergebnisse sind auch in den Figuren 7 bis 9 dargestellt und in Tabelle 1 zusammengefasst .
Brechungsindizes (n) und Dicke der Beschichtungen
Die Brechungsindizes und Dicke der Beschichtungen wurden mit Ellipsometrie gemessen (J. A. Woollan Co, Inc. M-2000 DI,
Spectroscopic Eilipsometer) . Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 angegeben .
Untersuchungen der Morphologie und Mikrostruktur Die Morphologie und Mikrostruktur der Strukturen wurde mit Hilfe von Rasterelektronenmikroskopie (REM) untersucht. Abbildun ¬ gen der Beschichtungen aus den Beispielen 5, 6 und 7 sind in den Figuren 10 bis 15 dargestellt. Photokatalytische Aktivität
In Figur 16 ist eine Messung der photokatalytischen Aktivität der Beschichtung aus Beispiel 11 gezeigt.
Die Messung wurde an einem Heraeus Suntest CPS mit Xenonstrahler durchgeführt, dazu wurde der beschichtete Objektträger mit 150g einer Lösung von 10 mg/ 1 Methylviolett in Wasser bedeckt und für 10h belichtet. Es wurde regelmäßig (alle 30 Min) verdunstetes Wasser aufgefüllt. Die Messung erfolgte nach Beendigung des Versuchs nach 10 Stunden .
Vergleichsexperimente
Ohne die Metallverbindung, d.h. Beispiel 1 wurden keine brauchbaren Schichten erhalten. Kratzfestigkeitstest Adhäsion
(Bleistifthärte) (Gitterschnitt-Test /
Klebeband-Test)
Beispiel 5 1H 4/4
Beispiel 6 8H 5/5
Beispiel 7 8H 5/5
Tabelle 1
Tabelle 2
zitierte Literatur
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